正交误差补偿电路、MEMS传感器读出装置以及MEMS传感器系统

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201910424448.9
申请日
2019-05-21
公开(公告)号
CN110146066A
公开(公告)日
2019-08-20
发明(设计)人
邹波 刘孟良
申请人
申请人地址
201203 上海市浦东新区自由贸易试验区龙东大道3000号1号楼裙楼208室
IPC主分类号
G01C195776
IPC分类号
代理机构
上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313
代理人
杨飞
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统 [P]. 
李宗伟 ;
韩可都 ;
刘婧 ;
冯方方 ;
杨长春 .
中国专利 :CN110763870A ,2020-02-07
[2]
MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统 [P]. 
李宗伟 ;
周永建 ;
张潇筱 ;
刘婧 ;
孟海龙 ;
杨长春 ;
韩可都 ;
冯方方 .
中国专利 :CN111561958A ,2020-08-21
[3]
前置放大器、MEMS传感器读出电路以及MEMS传感器系统 [P]. 
李宗伟 ;
韩可都 ;
杨长春 ;
刘婧 .
中国专利 :CN110380700B ,2019-10-25
[4]
MEMS传感器 [P]. 
王凯 ;
陈虎 ;
刘国俊 .
中国专利 :CN206488866U ,2017-09-12
[5]
MEMS传感器防尘装置及MEMS传感器 [P]. 
徐海胜 .
中国专利 :CN213906934U ,2021-08-06
[6]
MEMS传感器、MEMS传感器系统及其制造方法 [P]. 
D·图姆波德 ;
D·迈尔 .
中国专利 :CN110498385A ,2019-11-26
[7]
MEMS传感器、MEMS传感器系统及其制造方法 [P]. 
D·图姆波德 ;
D·迈尔 .
德国专利 :CN110498385B ,2024-08-30
[8]
MEMS传感器以及用于运行MEMS传感器的方法 [P]. 
A·丹嫩贝格 ;
M·施瓦茨 .
中国专利 :CN113474281A ,2021-10-01
[9]
MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法 [P]. 
C·纳格尔 .
中国专利 :CN113365937A ,2021-09-07
[10]
MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法 [P]. 
C·纳格尔 .
德国专利 :CN113365937B ,2025-04-15