互连结构及形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610407462.4

申请日：

2016-06-12

公开(公告)号：

CN107492517B

公开(公告)日：

2017-12-19

发明(设计)人：

周鸣

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L23532

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

高静;吴敏

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-08	授权	授权
2017-12-19	公开	公开
2018-01-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/768 申请日:20160612

共 50 条

[1]

互连结构及互连结构的形成方法 [P].

邓浩 .

中国专利 :CN104299958A ,2015-01-21

[2]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 .

中国专利 :CN104217991A ,2014-12-17

[3]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 ;

周俊卿 .

中国专利 :CN104143528A ,2014-11-12

[4]

互连结构形成方法 [P].

周鸣 ;

何永根 .

中国专利 :CN102751233A ,2012-10-24

[5]

金属互连结构的形成方法 [P].

刘继全 .

中国专利 :CN105575888A ,2016-05-11

[6]

金属互连结构及其形成方法 [P].

李凡 ;

张海洋 .

中国专利 :CN102832197A ,2012-12-19

[7]

互连线结构及互连线结构的形成方法 [P].

李乐 .

中国专利 :CN103050439A ,2013-04-17

[8]

互连结构的形成方法 [P].

韩秋华 .

中国专利 :CN104347488B ,2015-02-11

[9]

互连结构及其形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN103474416A ,2013-12-25

[10]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

任佳 .

中国专利 :CN104979270B ,2015-10-14

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