半导体制程系统与方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910692837.X

申请日：

2019-07-30

公开(公告)号：

CN110780541B

公开(公告)日：

2020-02-11

发明(设计)人：

秦仕明黄晓琪梁翰鸣

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路八号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

H01L21027

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-03-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20190730
2021-12-10	授权	授权
2020-02-11	公开	公开

共 50 条

[1]

半导体制程方法与半导体结构 [P].

丹尼斯·J·培迪 ;

泰伦斯·B·丹尼尔 .

中国专利 :CN103456682A ,2013-12-18

[2]

半导体制程检测系统及半导体制程检测方法 [P].

黎焕诚 ;

陈咏裕 .

中国专利 :CN114068347A ,2022-02-18

[3]

半导体制程检测系统及半导体制程检测方法 [P].

黎焕诚 ;

陈咏裕 .

中国专利 :CN114068347B ,2024-06-21

[4]

半导体制程系统 [P].

张志逢 ;

陈伟仁 ;

李俊億 ;

林展永 .

中国专利 :CN212322971U ,2021-01-08

[5]

半导体制程系统 [P].

利治育 ;

卢建宏 ;

郑迺汉 .

中国专利 :CN221427679U ,2024-07-26

[6]

半导体制程系统 [P].

魏愷进 ;

陈哲夫 .

中国专利 :CN112750725A ,2021-05-04

[7]

半导体制程机台及其半导体制程 [P].

林武郎 ;

郑煌玉 ;

王陈右 ;

陈世敏 ;

范釗傑 ;

高诚志 ;

刘又瑋 .

中国专利 :CN104253065A ,2014-12-31

[8]

半导体制程方法 [P].

邓上轩 ;

林梵琦 ;

郭爵旗 ;

陈立锐 ;

刘恒信 .

中国专利 :CN114792649A ,2022-07-26

[9]

半导体制程方法 [P].

吴耀铨 ;

陈俞中 .

中国专利 :CN102856254A ,2013-01-02

[10]

半导体制程方法 [P].

陈科维 ;

陈志宏 .

中国专利 :CN109326534A ,2019-02-12

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