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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-05-09 | 授权 | 授权 |
| 2019-01-15 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 35/00 申请日:20080130 授权公告日:20120509 终止日期:20180130 |
| 2014-08-06 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101703676696 IPC(主分类):H01J 35/00 专利号:ZL2008100094018 变更事项:专利权人 变更前:精工电子纳米科技有限公司 变更后:日本株式会社日立高新技术科学 变更事项:地址 变更前:日本千叶县千叶市 变更后:日本东京都 |
| 2010-02-10 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2008-08-06 | 公开 | 公开 |