离子注入机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220594742.8

申请日：

2012-11-01

公开(公告)号：

CN203055853U

公开(公告)日：

2013-07-10

发明(设计)人：

崔保群曹耀辉李志军路瑞亮

申请人：

申请人地址：

066001 河北省秦皇岛市海港区北部工业区揽月街33号

IPC主分类号：

H01J37317

IPC分类号：

H01J3708

代理机构：

代理人：

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-10-26	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 37/317 申请日:20121101 授权公告日:20130710 终止日期:20171101
2013-07-10	授权	授权

共 50 条

[1]

离子注入方法及离子注入机 [P].

崔保群 ;

曹耀辉 ;

李志军 ;

路瑞亮 .

中国专利 :CN102943245A ,2013-02-27

[2]

靶片可移动的离子注入机 [P].

崔保群 ;

曹耀辉 ;

李志军 ;

路瑞亮 .

中国专利 :CN202905662U ,2013-04-24

[3]

离子注入机 [P].

刘智远 ;

李嵘 ;

高伟 ;

周光亮 ;

李志鹏 .

中国专利 :CN223501804U ,2025-10-31

[4]

金属离子注入机 [P].

陶士慧 ;

马山明 ;

邵先华 ;

叶围洲 ;

蔡恩发 ;

蔡坚将 ;

吴观绵 ;

吴九妹 .

中国专利 :CN2735537Y ,2005-10-19

[5]

离子注入机 [P].

蒋亚伟 ;

洪纪伦 ;

吴宗祐 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208674055U ,2019-03-29

[6]

离子注入机用护板及离子注入机 [P].

吴奥明 ;

李前凤 .

中国专利 :CN212725222U ,2021-03-16

[7]

设置有引出缝的离子注入机 [P].

崔保群 ;

曹耀辉 ;

李志军 ;

路瑞亮 .

中国专利 :CN202917429U ,2013-05-01

[8]

金属离子注入机 [P].

陶士慧 ;

马山明 ;

邵先华 ;

叶围洲 ;

蔡恩发 ;

蔡坚将 ;

吴观绵 ;

吴九妹 .

中国专利 :CN1300371C ,2005-04-27

[9]

离子注入机 [P].

付国柱 ;

邵喜斌 ;

荆海 ;

廖燕平 ;

高文涛 ;

史辉琨 .

中国专利 :CN1547240A ,2004-11-17

[10]

离子注入机 [P].

山下贵敏 ;

池尻忠司 ;

田中浩平 ;

赵维江 ;

田中秀之 .

中国专利 :CN101162679B ,2008-04-16

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