离子注入机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200310115894.0

申请日：

2003-12-08

公开(公告)号：

CN1547240A

公开(公告)日：

2004-11-17

发明(设计)人：

付国柱邵喜斌荆海廖燕平高文涛史辉琨

申请人：

申请人地址：

130031吉林省长春市东南湖大路16号

IPC主分类号：

H01L21265

IPC分类号：

H01J37317

代理机构：

长春科宇专利代理有限责任公司

代理人：

李恩庆

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-10-25	授权	授权
2010-02-03	专利权的终止(未缴年费专利权终止)	专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2005-01-26	实质审查的生效	实质审查的生效
2004-11-17	公开	公开

共 50 条

[1]

多晶硅薄膜晶体管离子注入机 [P].

付国柱 ;

邵喜斌 ;

荆海 ;

廖燕平 ;

高文涛 ;

史辉琨 .

中国专利 :CN2672854Y ,2005-01-19

[2]

离子注入机 [P].

王蒙 ;

李勇滔 ;

赵章琰 ;

李超波 ;

夏洋 .

中国专利 :CN103137447A ,2013-06-05

[3]

离子注入机 [P].

崔保群 ;

曹耀辉 ;

李志军 ;

路瑞亮 .

中国专利 :CN203055853U ,2013-07-10

[4]

离子注入机 [P].

山下贵敏 ;

池尻忠司 ;

田中浩平 ;

赵维江 ;

田中秀之 .

中国专利 :CN101162679B ,2008-04-16

[5]

离子注入机 [P].

张晓峰 ;

彭海 ;

王吉祥 .

中国专利 :CN303339370S ,2015-08-19

[6]

离子注入机 [P].

山下贵敏 ;

藤田秀树 .

中国专利 :CN101174534B ,2008-05-07

[7]

离子注入机 [P].

刘智远 ;

李嵘 ;

高伟 ;

周光亮 ;

李志鹏 .

中国专利 :CN223501804U ,2025-10-31

[8]

离子注入机 [P].

托马斯·韦宁豪斯 ;

伯恩哈德·迈尔-施莫尔奇 ;

马丁·卡特赖因 .

中国专利 :CN107408480B ,2017-11-28

[9]

离子注入机 [P].

蒋亚伟 ;

洪纪伦 ;

吴宗祐 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208674055U ,2019-03-29

[10]

离子注入机用护板及离子注入机 [P].

吴奥明 ;

李前凤 .

中国专利 :CN212725222U ,2021-03-16

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