离子注入机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710167994.6

申请日：

2007-10-31

公开(公告)号：

CN101174534B

公开(公告)日：

2008-05-07

发明(设计)人：

山下贵敏藤田秀树

申请人：

申请人地址：

日本京都

IPC主分类号：

H01J37317

IPC分类号：

H01L21265

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司 11219

代理人：

李涛;钟强

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-05-07	公开	公开
2008-07-02	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-06-23	授权	授权
2016-12-21	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101692966338 IPC(主分类):H01J 37/317 专利号:ZL2007101679946 申请日:20071031 授权公告日:20100623 终止日期:20151031

共 50 条

[1]

离子注入机 [P].

崔保群 ;

曹耀辉 ;

李志军 ;

路瑞亮 .

中国专利 :CN203055853U ,2013-07-10

[2]

离子注入机 [P].

付国柱 ;

邵喜斌 ;

荆海 ;

廖燕平 ;

高文涛 ;

史辉琨 .

中国专利 :CN1547240A ,2004-11-17

[3]

离子注入机 [P].

山下贵敏 ;

池尻忠司 ;

田中浩平 ;

赵维江 ;

田中秀之 .

中国专利 :CN101162679B ,2008-04-16

[4]

离子注入机 [P].

张晓峰 ;

彭海 ;

王吉祥 .

中国专利 :CN303339370S ,2015-08-19

[5]

离子注入机 [P].

王蒙 ;

李勇滔 ;

赵章琰 ;

李超波 ;

夏洋 .

中国专利 :CN103137447A ,2013-06-05

[6]

离子注入机 [P].

刘智远 ;

李嵘 ;

高伟 ;

周光亮 ;

李志鹏 .

中国专利 :CN223501804U ,2025-10-31

[7]

离子注入机 [P].

托马斯·韦宁豪斯 ;

伯恩哈德·迈尔-施莫尔奇 ;

马丁·卡特赖因 .

中国专利 :CN107408480B ,2017-11-28

[8]

离子注入机 [P].

蒋亚伟 ;

洪纪伦 ;

吴宗祐 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208674055U ,2019-03-29

[9]

离子注入机用护板及离子注入机 [P].

吴奥明 ;

李前凤 .

中国专利 :CN212725222U ,2021-03-16

[10]

离子注入机和采用此离子注入机的离子注入方法 [P].

吴相根 ;

文常营 ;

金定坤 ;

金度亨 .

中国专利 :CN1189921C ,1997-09-10

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