离子注入方法及离子注入机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210454761.5

申请日：

2012-11-01

公开(公告)号：

CN102943245A

公开(公告)日：

2013-02-27

发明(设计)人：

崔保群曹耀辉李志军路瑞亮

申请人：

申请人地址：

066001 河北省秦皇岛市海港区北部工业区揽月街33号

IPC主分类号：

C23C1448

IPC分类号：

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法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-01-20	授权	授权
2013-02-27	公开	公开
2013-04-03	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101425919601 IPC(主分类):C23C 14/48 专利申请号:2012104547615 申请日:20121101

共 50 条

[1]

离子注入机 [P].

崔保群 ;

曹耀辉 ;

李志军 ;

路瑞亮 .

中国专利 :CN203055853U ,2013-07-10

[2]

离子注入方法及离子注入机 [P].

沈政辉 .

中国专利 :CN102479655B ,2012-05-30

[3]

离子注入方法及离子注入机 [P].

周真真 ;

刘厥扬 ;

胡展源 .

中国专利 :CN110797247B ,2020-02-14

[4]

离子注入电极及离子注入机 [P].

张瑜 ;

赵超 ;

董少龙 ;

冯庆龙 ;

王化涛 .

中国专利 :CN218123347U ,2022-12-23

[5]

离子注入机以及离子注入方法 [P].

陈猛 ;

叶斐 ;

张晨膑 .

中国专利 :CN117524824A ,2024-02-06

[6]

离子注入机和采用此离子注入机的离子注入方法 [P].

吴相根 ;

文常营 ;

金定坤 ;

金度亨 .

中国专利 :CN1189921C ,1997-09-10

[7]

离子注入机用护板及离子注入机 [P].

吴奥明 ;

李前凤 .

中国专利 :CN212725222U ,2021-03-16

[8]

离子注入转角监控方法及离子注入机 [P].

李稳迪 ;

张立 ;

谢威 .

中国专利 :CN110416044B ,2019-11-05

[9]

离子注入机 [P].

付国柱 ;

邵喜斌 ;

荆海 ;

廖燕平 ;

高文涛 ;

史辉琨 .

中国专利 :CN1547240A ,2004-11-17

[10]

离子注入机 [P].

山下贵敏 ;

池尻忠司 ;

田中浩平 ;

赵维江 ;

田中秀之 .

中国专利 :CN101162679B ,2008-04-16

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