离子注入电极及离子注入机

被引：0

申请号：

CN202221944424.X

申请日：

2022-07-26

公开(公告)号：

CN218123347U

公开(公告)日：

2022-12-23

发明(设计)人：

张瑜赵超董少龙冯庆龙王化涛

申请人：

申请人地址：

132000 吉林省吉林市高新区深圳街99号

IPC主分类号：

H01J37317

IPC分类号：

H01J3704

代理机构：

成都极刻智慧知识产权代理事务所(普通合伙) 51310

代理人：

唐维虎

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-23	授权	授权

共 50 条

[1]

离子注入方法及离子注入机 [P].

沈政辉 .

中国专利 :CN102479655B ,2012-05-30

[2]

离子注入方法及离子注入机 [P].

周真真 ;

刘厥扬 ;

胡展源 .

中国专利 :CN110797247B ,2020-02-14

[3]

离子注入方法及离子注入机 [P].

崔保群 ;

曹耀辉 ;

李志军 ;

路瑞亮 .

中国专利 :CN102943245A ,2013-02-27

[4]

离子注入机用护板及离子注入机 [P].

吴奥明 ;

李前凤 .

中国专利 :CN212725222U ,2021-03-16

[5]

离子注入机以及离子注入方法 [P].

陈猛 ;

叶斐 ;

张晨膑 .

中国专利 :CN117524824A ,2024-02-06

[6]

离子注入机和采用此离子注入机的离子注入方法 [P].

吴相根 ;

文常营 ;

金定坤 ;

金度亨 .

中国专利 :CN1189921C ,1997-09-10

[7]

离子注入机 [P].

崔保群 ;

曹耀辉 ;

李志军 ;

路瑞亮 .

中国专利 :CN203055853U ,2013-07-10

[8]

离子注入机 [P].

付国柱 ;

邵喜斌 ;

荆海 ;

廖燕平 ;

高文涛 ;

史辉琨 .

中国专利 :CN1547240A ,2004-11-17

[9]

离子注入机 [P].

山下贵敏 ;

池尻忠司 ;

田中浩平 ;

赵维江 ;

田中秀之 .

中国专利 :CN101162679B ,2008-04-16

[10]

离子注入机 [P].

张晓峰 ;

彭海 ;

王吉祥 .

中国专利 :CN303339370S ,2015-08-19

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