一种高性能Ga2O3薄膜有源日盲紫外探测器及其制备方法

被引：0

申请号：

CN202210521145.0

申请日：

2022-05-13

公开(公告)号：

CN115000228A

公开(公告)日：

2022-09-02

发明(设计)人：

张洪良徐翔宇张佳业陈文山

申请人：

申请人地址：

361000 福建省厦门市思明南路422号

IPC主分类号：

H01L31102

IPC分类号：

H01L31032 H01L310224 H01L3118

代理机构：

厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204

代理人：

陈淑娴

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-02	公开	公开
2022-09-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/102 申请日:20220513

共 50 条

[1]

一种高性能Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜有源日盲紫外探测器及其制备方法 [P].

张洪良 ;

徐翔宇 ;

张佳业 ;

陈文山 .

中国专利 :CN115000228B ,2024-12-17

[2]

一种Zn:Ga2O3薄膜基MSM结构日盲紫外光电探测器及其制备方法 [P].

郭道友 ;

秦新元 ;

王顺利 ;

时浩泽 ;

李培刚 ;

唐为华 ;

沈静琴 .

中国专利 :CN106409963B ,2017-02-15

[3]

一种β‑Ga2O3基日盲紫外光电探测器阵列及其制备方法 [P].

唐为华 ;

彭阳科 .

中国专利 :CN107507876A ,2017-12-22

[4]

基于非晶Ga2O3薄膜的日盲紫外探测器及其制备方法 [P].

李严波 ;

范泽宇 .

中国专利 :CN114725234A ,2022-07-08

[5]

一种Ga2O3薄膜基日盲紫外探测器、制备方法及应用 [P].

郭道友 ;

王顺利 .

中国专利 :CN110854233A ,2020-02-28

[6]

一种蓝宝石衬底生长纯相Ga2O3薄膜的方法及日盲紫外探测器 [P].

孟冬冬 ;

葛坤鹏 ;

陈旭 ;

陈政委 ;

赵德刚 .

中国专利 :CN114141910A ,2022-03-04

[7]

基于β-Ga2O3/FTO异质结的日盲紫外光电探测器及其制备 [P].

王霞 ;

李培刚 ;

唐为华 .

中国专利 :CN109755341A ,2019-05-14

[8]

基于α/β-Ga2O3相结的自供电日盲紫外探测器 [P].

郭道友 .

中国专利 :CN109148159B ,2019-01-04

[9]

一种MSM型α-Ga2O3基日盲紫外光探测器 [P].

何云斌 ;

黄攀 ;

黎明锴 ;

卢寅梅 ;

刘琦 ;

李迎香 ;

张清风 ;

陈俊年 .

中国专利 :CN111293181B ,2020-06-16

[10]

一种非晶Ga2O3日盲紫外探测器及其制备方法和应用 [P].

崔书娟 ;

梅增霞 ;

张永晖 ;

梁会力 ;

杜小龙 .

中国专利 :CN108963027A ,2018-12-07

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