离子注入机工艺能力的监控方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710551898.5

申请日：

2017-07-07

公开(公告)号：

CN107256827A

公开(公告)日：

2017-10-17

发明(设计)人：

范世炜郭国超张凌越国子明姚雷

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号

IPC主分类号：

H01L21265

IPC分类号：

H01L2166

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-30	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/265 申请公布日:20171017
2017-10-17	公开	公开
2017-11-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/265 申请日:20170707

共 50 条

[1]

离子注入机的工艺能力的监控方法和离子注入方法 [P].

国子明 ;

王毅 ;

郭国超 ;

姚雷 ;

郝志 .

中国专利 :CN103839858B ,2014-06-04

[2]

离子注入机台的水汽监控方法 [P].

国子明 ;

郭国超 ;

张凌越 ;

姚蕾 .

中国专利 :CN104599996B ,2015-05-06

[3]

离子注入机台的监控方法 [P].

庞宏庄 ;

王呈辰 ;

张凌越 ;

国子明 .

中国专利 :CN111584388B ,2020-08-25

[4]

离子注入机台的监控方法 [P].

范世炜 ;

姚雷 ;

张凌越 ;

国子明 .

中国专利 :CN111312572A ,2020-06-19

[5]

离子注入转角监控方法及离子注入机 [P].

李稳迪 ;

张立 ;

谢威 .

中国专利 :CN110416044B ,2019-11-05

[6]

离子注入机台的测试方法 [P].

姚雷 ;

张凌越 ;

朱云 ;

国子明 ;

范世炜 ;

郭国超 .

中国专利 :CN105551992A ,2016-05-04

[7]

离子注入机 [P].

付国柱 ;

邵喜斌 ;

荆海 ;

廖燕平 ;

高文涛 ;

史辉琨 .

中国专利 :CN1547240A ,2004-11-17

[8]

离子注入机台注入角度监控方法 [P].

李盼 ;

朱红波 ;

李德生 .

中国专利 :CN115602566A ,2023-01-13

[9]

离子注入工艺的监控方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN108109933B ,2018-06-01

[10]

离子注入机和采用此离子注入机的离子注入方法 [P].

吴相根 ;

文常营 ;

金定坤 ;

金度亨 .

中国专利 :CN1189921C ,1997-09-10

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