离子注入机的工艺能力的监控方法和离子注入方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410098578.5

申请日：

2014-03-17

公开(公告)号：

CN103839858B

公开(公告)日：

2014-06-04

发明(设计)人：

国子明王毅郭国超姚雷郝志

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21265

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

郑玮

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-06-16	授权	授权
2014-07-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101583460506 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2014100985785 申请日:20140317
2014-06-04	公开	公开

共 50 条

[1]

离子注入机工艺能力的监控方法 [P].

范世炜 ;

郭国超 ;

张凌越 ;

国子明 ;

姚雷 .

中国专利 :CN107256827A ,2017-10-17

[2]

离子注入机和采用此离子注入机的离子注入方法 [P].

吴相根 ;

文常营 ;

金定坤 ;

金度亨 .

中国专利 :CN1189921C ,1997-09-10

[3]

离子注入转角监控方法及离子注入机 [P].

李稳迪 ;

张立 ;

谢威 .

中国专利 :CN110416044B ,2019-11-05

[4]

离子注入方法及离子注入机 [P].

沈政辉 .

中国专利 :CN102479655B ,2012-05-30

[5]

离子注入方法及离子注入机 [P].

周真真 ;

刘厥扬 ;

胡展源 .

中国专利 :CN110797247B ,2020-02-14

[6]

离子注入方法及离子注入机 [P].

崔保群 ;

曹耀辉 ;

李志军 ;

路瑞亮 .

中国专利 :CN102943245A ,2013-02-27

[7]

离子注入机以及离子注入方法 [P].

陈猛 ;

叶斐 ;

张晨膑 .

中国专利 :CN117524824A ,2024-02-06

[8]

离子注入机 [P].

崔保群 ;

曹耀辉 ;

李志军 ;

路瑞亮 .

中国专利 :CN203055853U ,2013-07-10

[9]

离子注入机 [P].

付国柱 ;

邵喜斌 ;

荆海 ;

廖燕平 ;

高文涛 ;

史辉琨 .

中国专利 :CN1547240A ,2004-11-17

[10]

用于离子注入机的监控装置和离子注入机系统 [P].

徐方明 ;

赖庆宏 ;

丁伯继 ;

金红杰 .

中国专利 :CN203562390U ,2014-04-23

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