用于离子注入机的监控装置和离子注入机系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320794296.X

申请日：

2013-12-04

公开(公告)号：

CN203562390U

公开(公告)日：

2014-04-23

发明(设计)人：

徐方明赖庆宏丁伯继金红杰

申请人：

申请人地址：

310018 浙江省杭州市杭州市(下沙)经济技术开发区东区10号路308号

IPC主分类号：

H01J37317

IPC分类号：

H01J37244

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

浦易文

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-12	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 37/317 申请日:20131204 授权公告日:20140423 终止日期:20201204
2014-04-23	授权	授权

共 50 条

[1]

离子注入机 [P].

崔保群 ;

曹耀辉 ;

李志军 ;

路瑞亮 .

中国专利 :CN203055853U ,2013-07-10

[2]

离子注入机 [P].

刘智远 ;

李嵘 ;

高伟 ;

周光亮 ;

李志鹏 .

中国专利 :CN223501804U ,2025-10-31

[3]

离子注入机 [P].

蒋亚伟 ;

洪纪伦 ;

吴宗祐 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208674055U ,2019-03-29

[4]

离子注入机和采用此离子注入机的离子注入方法 [P].

吴相根 ;

文常营 ;

金定坤 ;

金度亨 .

中国专利 :CN1189921C ,1997-09-10

[5]

离子注入机用护板及离子注入机 [P].

吴奥明 ;

李前凤 .

中国专利 :CN212725222U ,2021-03-16

[6]

离子注入机 [P].

付国柱 ;

邵喜斌 ;

荆海 ;

廖燕平 ;

高文涛 ;

史辉琨 .

中国专利 :CN1547240A ,2004-11-17

[7]

离子注入机 [P].

山下贵敏 ;

池尻忠司 ;

田中浩平 ;

赵维江 ;

田中秀之 .

中国专利 :CN101162679B ,2008-04-16

[8]

离子注入机 [P].

张晓峰 ;

彭海 ;

王吉祥 .

中国专利 :CN303339370S ,2015-08-19

[9]

离子注入机 [P].

山下贵敏 ;

藤田秀树 .

中国专利 :CN101174534B ,2008-05-07

[10]

离子注入机 [P].

王蒙 ;

李勇滔 ;

赵章琰 ;

李超波 ;

夏洋 .

中国专利 :CN103137447A ,2013-06-05

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