光致抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03110718.4

申请日：

2003-03-05

公开(公告)号：

CN1527135A

公开(公告)日：

2004-09-08

发明(设计)人：

G·N·泰勒 G·G·登

申请人：

申请人地址：

美国马萨诸塞州

IPC主分类号：

G03F7028

IPC分类号：

G03F716 G03F700

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司

代理人：

戈泊

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-11-30	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-07-15	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回
2004-09-08	公开	公开

共 50 条

[1]

光致抗蚀剂组合物 [P].

郑载昌 .

中国专利 :CN1603952A ,2005-04-06

[2]

光致抗蚀剂组合物 [P].

金子勇 ;

冈田伸治 ;

川口泰秀 ;

武部洋子 ;

儿玉俊一 .

中国专利 :CN1221861C ,2004-04-28

[3]

光致抗蚀剂组合物 [P].

增山达郎 ;

桥本和彦 ;

重松淳二 .

中国专利 :CN102043336A ,2011-05-04

[4]

光致抗蚀剂组合物 [P].

刘陆 ;

邹应全 ;

杨遇春 ;

黄勇 ;

刘启升 .

中国专利 :CN101813886A ,2010-08-25

[5]

光致抗蚀剂组合物 [P].

M·派德马纳班 ;

S·查克拉帕尼 .

中国专利 :CN101606102A ,2009-12-16

[6]

光致抗蚀剂组合物 [P].

增山达郎 ;

向井优一 ;

岛田雅彦 .

中国专利 :CN102129171A ,2011-07-20

[7]

光致抗蚀剂底层组合物 [P].

Y-J·姜 ;

安载润 ;

Y·R·申 ;

李晶真 ;

沈载桓 .

韩国专利 :CN118092073A ,2024-05-28

[8]

光致抗蚀剂底层组合物 [P].

A·查韦斯 ;

柯佑晟 ;

山田晋太郎 .

美国专利 :CN117724294A ,2024-03-19

[9]

光致抗蚀剂移除组合物 [P].

朴成焕 ;

李昌奂 ;

曹三永 ;

金玮鎔 ;

尹锡壹 .

中国专利 :CN1277156C ,2004-10-13

[10]

光致抗蚀剂底层组合物 [P].

L-S·柯 ;

A·查韦斯 ;

山田晋太郎 .

美国专利 :CN116300309B ,2025-12-12

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