光致抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010103814.X

申请日：

2010-01-27

公开(公告)号：

CN101813886A

公开(公告)日：

2010-08-25

发明(设计)人：

刘陆邹应全杨遇春黄勇刘启升

申请人：

申请人地址：

518103 广东省深圳市福永镇新田工业区27幢

IPC主分类号：

G03F7021

IPC分类号：

代理机构：

北京北翔知识产权代理有限公司 11285

代理人：

钟守期;唐铁军

法律状态：

著录事项变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-04-25	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101338326257 IPC(主分类):G03F 7/021 专利申请号:201010103814X 变更事项:申请人变更前:深圳市容大电子材料有限公司变更后:深圳市容大感光科技股份有限公司变更事项:地址变更前:518103 广东省深圳市福永镇新田工业区27幢变更后:518103 广东省深圳市福永镇新田工业区27幢变更事项:共同申请人变更前:北京师范大学变更后:北京师范大学
2010-08-25	公开	公开
2013-04-10	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101566022878 IPC(主分类):G03F 7/021 专利申请号:201010103814X 申请公布日:20100825
2010-10-13	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101007483748 IPC(主分类):G03F 7/021 专利申请号:201010103814X 申请日:20100127

共 50 条

[1]

光致抗蚀剂组合物 [P].

朴贤旻 ;

林敏映 ;

李泰燮 .

中国专利 :CN110892325A ,2020-03-17

[2]

光致抗蚀剂组合物 [P].

郑载昌 .

中国专利 :CN1603952A ,2005-04-06

[3]

光致抗蚀剂组合物 [P].

金子勇 ;

冈田伸治 ;

川口泰秀 ;

武部洋子 ;

儿玉俊一 .

中国专利 :CN1221861C ,2004-04-28

[4]

光致抗蚀剂组合物 [P].

增山达郎 ;

桥本和彦 ;

重松淳二 .

中国专利 :CN102043336A ,2011-05-04

[5]

化学增幅型光致抗蚀剂组合物、光致抗蚀剂图案和用于制备光致抗蚀剂图案的方法 [P].

林敏映 ;

金智慧 ;

金容美 .

中国专利 :CN110325915B ,2019-10-11

[6]

光致抗蚀剂组合物 [P].

M·派德马纳班 ;

S·查克拉帕尼 .

中国专利 :CN101606102A ,2009-12-16

[7]

光致抗蚀剂组合物 [P].

G·N·泰勒 ;

G·G·登 .

中国专利 :CN1527135A ,2004-09-08

[8]

光致抗蚀剂组合物 [P].

增山达郎 ;

向井优一 ;

岛田雅彦 .

中国专利 :CN102129171A ,2011-07-20

[9]

光致抗蚀剂底层组合物 [P].

Y-J·姜 ;

安载润 ;

Y·R·申 ;

李晶真 ;

沈载桓 .

韩国专利 :CN118092073A ,2024-05-28

[10]

光致抗蚀剂底层组合物 [P].

A·查韦斯 ;

柯佑晟 ;

山田晋太郎 .

美国专利 :CN117724294A ,2024-03-19

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