光致抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200410069631.5

申请日：

2004-07-15

公开(公告)号：

CN1603952A

公开(公告)日：

2005-04-06

发明(设计)人：

郑载昌

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

G03F7004

IPC分类号：

G03F720 H01L2100

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

封新琴;巫肖南

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-12-16	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回
2005-04-06	公开	公开
2005-06-08	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

光致抗蚀剂组合物及形成光致抗蚀剂图案的方法 [P].

郑载昌 .

中国专利 :CN100383666C ,2005-05-25

[2]

光致抗蚀剂组合物 [P].

金子勇 ;

冈田伸治 ;

川口泰秀 ;

武部洋子 ;

儿玉俊一 .

中国专利 :CN1221861C ,2004-04-28

[3]

光致抗蚀剂组合物 [P].

增山达郎 ;

桥本和彦 ;

重松淳二 .

中国专利 :CN102043336A ,2011-05-04

[4]

光致抗蚀剂组合物 [P].

刘陆 ;

邹应全 ;

杨遇春 ;

黄勇 ;

刘启升 .

中国专利 :CN101813886A ,2010-08-25

[5]

光致抗蚀剂组合物 [P].

M·派德马纳班 ;

S·查克拉帕尼 .

中国专利 :CN101606102A ,2009-12-16

[6]

光致抗蚀剂组合物 [P].

G·N·泰勒 ;

G·G·登 .

中国专利 :CN1527135A ,2004-09-08

[7]

光致抗蚀剂组合物 [P].

增山达郎 ;

向井优一 ;

岛田雅彦 .

中国专利 :CN102129171A ,2011-07-20

[8]

光致抗蚀剂组合物和形成光致抗蚀剂图案的方法 [P].

杨立柏 ;

张庆裕 .

中国专利 :CN113238457A ,2021-08-10

[9]

抗反射光致抗蚀剂组合物 [P].

姚晖蓉 ;

林观阳 ;

M·O·奈塞尔 .

中国专利 :CN102575127B ,2012-07-11

[10]

抗蚀剂组合物 [P].

袁三平 .

中国专利 :CN102981363A ,2013-03-20

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