抗反射光致抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201080045299.2

申请日：

2010-10-29

公开(公告)号：

CN102575127B

公开(公告)日：

2012-07-11

发明(设计)人：

姚晖蓉林观阳 M·O·奈塞尔

申请人：

申请人地址：

美国新泽西

IPC主分类号：

C09D16700

IPC分类号：

G03F709

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：

夏正东

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-08-13	授权	授权
2012-10-03	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101331113379 IPC(主分类):C09D 167/00 专利申请号:2010800452992 申请日:20101029
2015-05-20	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101715619495 IPC(主分类):C09D 167/00 专利号:ZL2010800452992 变更事项:专利权人变更前权利人:AZ电子材料美国公司变更后权利人:默克专利有限公司变更事项:地址变更前权利人:美国新泽西变更后权利人:德国达姆施塔特登记生效日:20150507
2012-07-11	公开	公开

共 50 条

[1]

用于光致抗蚀剂组合物的抗反射涂料 [P].

S·丁 ;

D·N·坎纳 ;

M·A·斯帕克 ;

D·L·杜哈姆 ;

单会 ;

E·宫扎尔兹 .

中国专利 :CN1367884A ,2002-09-04

[2]

光致抗蚀剂组合物 [P].

郑载昌 .

中国专利 :CN1603952A ,2005-04-06

[3]

光致抗蚀剂组合物 [P].

M·派德马纳班 ;

S·查克拉帕尼 .

中国专利 :CN101606102A ,2009-12-16

[4]

用于光致抗蚀剂组合物的抗反射涂层 [P].

I·穆库洛奇 ;

R·R·达米尔 ;

A·J·科尔索 ;

丁术李 ;

D·L·杜哈姆 ;

卢炳宏 ;

康鸣 ;

D·N·克哈纳 .

中国专利 :CN1111760C ,1999-10-20

[5]

用于光致抗蚀剂的抗反射涂料组合物的溶剂混合物 [P].

向中 ;

吴恒鹏 ;

庄弘 ;

E·冈萨雷斯 ;

M·O·奈瑟 .

中国专利 :CN101583907B ,2009-11-18

[6]

光致抗蚀剂组合物 [P].

增山达郎 ;

桥本和彦 ;

重松淳二 .

中国专利 :CN102043336A ,2011-05-04

[7]

光致抗蚀剂组合物 [P].

金子勇 ;

冈田伸治 ;

川口泰秀 ;

武部洋子 ;

儿玉俊一 .

中国专利 :CN1221861C ,2004-04-28

[8]

光致抗蚀剂组合物 [P].

刘陆 ;

邹应全 ;

杨遇春 ;

黄勇 ;

刘启升 .

中国专利 :CN101813886A ,2010-08-25

[9]

光致抗蚀剂组合物 [P].

G·N·泰勒 ;

G·G·登 .

中国专利 :CN1527135A ,2004-09-08

[10]

光致抗蚀剂组合物 [P].

增山达郎 ;

向井优一 ;

岛田雅彦 .

中国专利 :CN102129171A ,2011-07-20

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