曝光装置的制造方法,光源单元、曝光装置、曝光方法以及曝光装置的调整方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200380102081.6

申请日：

2003-11-25

公开(公告)号：

CN1708829A

公开(公告)日：

2005-12-14

发明(设计)人：

竹中修二

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21027

IPC分类号：

G03F720 G02B1900

代理机构：

北京中原华和知识产权代理有限责任公司

代理人：

寿宁

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-07-19	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回
2005-12-14	公开	公开

共 50 条

[1]

曝光装置和曝光方法、以及曝光单元及使用该单元的曝光方法 [P].

池渊宏 ;

冈谷秀树 .

中国专利 :CN102819195A ,2012-12-12

[2]

曝光装置以及曝光方法 [P].

加藤正纪 ;

小山元夫 .

中国专利 :CN1432874A ,2003-07-30

[3]

曝光装置以及曝光方法 [P].

小山元夫 ;

田中正司 ;

加藤一之 ;

登道男 .

中国专利 :CN1708828A ,2005-12-14

[4]

曝光装置、曝光方法以及物品的制造方法 [P].

八讲学 .

中国专利 :CN113721427A ,2021-11-30

[5]

曝光装置、曝光方法以及物品的制造方法 [P].

八講学 .

中国专利 :CN111324016A ,2020-06-23

[6]

曝光装置及曝光方法 [P].

熊泽雅人 .

中国专利 :CN105652609A ,2016-06-08

[7]

曝光装置、曝光方法和物品制造方法 [P].

铃木敢士 ;

八讲学 .

日本专利 :CN113759666B ,2024-09-13

[8]

曝光装置、曝光方法以及物品制造方法 [P].

大野文靖 .

中国专利 :CN107783383B ,2018-03-09

[9]

曝光装置、曝光方法和物品制造方法 [P].

铃木敢士 ;

八讲学 .

中国专利 :CN113759666A ,2021-12-07

[10]

曝光装置、曝光方法以及装置制造方法 [P].

竹中务 ;

三岛和彦 .

中国专利 :CN104516213B ,2015-04-15

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