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曝光装置和曝光方法、以及曝光单元及使用该单元的曝光方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201210191311.1
申请日：
2012-06-11
公开(公告)号：
CN102819195A
公开(公告)日：
2012-12-12
发明(设计)人：
池渊宏
冈谷秀树
申请人：
申请人地址：
日本东京
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
北京泛诚知识产权代理有限公司 11298
代理人：
陈波;文琦
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-01-27 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101727052419 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2012101913111 变更事项:专利权人 变更前:恩斯克科技有限公司 变更后:VN系统有限公司 变更事项:地址 变更前:日本东京 变更后:日本神奈川 |
| 2012-12-12 | 公开 | 公开 |
| 2016-01-27 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101727052420 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2012101913111 登记生效日:20160106 变更事项:专利权人 变更前权利人:VN系统有限公司 变更后权利人:株式会社V技术 变更事项:地址 变更前权利人:日本神奈川 变更后权利人:日本神奈川 |
| 2015-01-07 | 授权 | 授权 |
| 2022-06-07 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20120611 授权公告日:20150107 终止日期:20210611 |
| 2013-01-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101389917535 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2012101913111 申请日:20120611 |