曝光装置和使用该曝光装置的曝光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510062073.8

申请日：

2015-02-05

公开(公告)号：

CN104849965A

公开(公告)日：

2015-08-19

发明(设计)人：

许财源李泓燃全栢均

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

钱大勇;侯广

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-02-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101703959804 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2015100620738 申请日:20150205
2015-08-19	公开	公开
2020-02-11	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F 7/20 申请公布日:20150819

共 50 条

[1]

曝光装置和曝光方法、以及曝光单元及使用该单元的曝光方法 [P].

池渊宏 ;

冈谷秀树 .

中国专利 :CN102819195A ,2012-12-12

[2]

曝光掩模和使用该曝光掩模的曝光方法 [P].

李树雄 ;

白尚润 .

中国专利 :CN1637594A ,2005-07-13

[3]

曝光装置、曝光方法，以及使用该曝光装置和方法的器件制造方法 [P].

篠田健一郎 .

中国专利 :CN1438546A ,2003-08-27

[4]

曝光装置、曝光方法,以及使用该曝光装置和方法的器件制造方法 [P].

篠田健一郎 .

中国专利 :CN101241318A ,2008-08-13

[5]

曝光方法和曝光装置 [P].

桥本博信 ;

高木俊博 ;

三宅健 .

中国专利 :CN101194210B ,2008-06-04

[6]

曝光装置和曝光方法 [P].

朱凤稚 .

中国专利 :CN104614951A ,2015-05-13

[7]

曝光装置和曝光方法 [P].

奥山隆志 .

日本专利 :CN119511640A ,2025-02-25

[8]

曝光装置和曝光方法 [P].

佐治伸仁 ;

小林健一 ;

原田种真 ;

桐生恭孝 ;

小柳秀昭 ;

今井克喜 ;

长谷川一也 .

中国专利 :CN102854753A ,2013-01-02

[9]

曝光装置和曝光方法 [P].

三宅健 ;

高木俊博 .

中国专利 :CN102063020A ,2011-05-18

[10]

曝光装置和曝光方法 [P].

林慎一郎 .

中国专利 :CN105045043B ,2015-11-11

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