光源单元、照明单元、曝光装置、以及曝光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202480023500.9

申请日：

2024-03-18

公开(公告)号：

CN120958387A

公开(公告)日：

2025-11-14

发明(设计)人：

吉田亮平铃木智也阿部文彦松村信孝犬童真成

申请人：

株式会社尼康

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

H10H20/858

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

闫剑平

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-02	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20240318
2025-11-14	公开	公开

共 50 条

[1]

光源单元、照明单元、曝光装置、以及曝光方法 [P].

吉田亮平 ;

铃木智也 ;

樱井友纪也 ;

犬童真成 .

日本专利 :CN119790351A ,2025-04-08

[2]

光源单元、照明单元、曝光装置、以及曝光方法 [P].

吉田亮平 ;

铃木智也 ;

樱井友纪也 ;

犬童真成 ;

岩永正也 .

日本专利 :CN119678106A ,2025-03-21

[3]

驱动方法、光源单元、照明单元、曝光装置、以及曝光方法 [P].

吉田亮平 ;

铃木智也 ;

阿部文彦 ;

松村信孝 ;

多田友行 ;

田洼秀治 .

日本专利 :CN120958384A ,2025-11-14

[4]

光源单元、照明单元、曝光装置、及曝光方法 [P].

岩永正也 ;

川户聪 .

日本专利 :CN119585678A ,2025-03-07

[5]

照明单元、曝光装置、及曝光方法 [P].

岩永正也 ;

川户聪 ;

大川智之 ;

中臣聪 .

日本专利 :CN119585677A ,2025-03-07

[6]

合成光学元件、照明单元、曝光装置、以及曝光方法 [P].

岩永正也 ;

铃木智也 ;

竹中修二 ;

大川智之 .

日本专利 :CN119948408A ,2025-05-06

[7]

曝光装置的制造方法,光源单元、曝光装置、曝光方法以及曝光装置的调整方法 [P].

竹中修二 .

中国专利 :CN1708829A ,2005-12-14

[8]

曝光装置和曝光方法、以及曝光单元及使用该单元的曝光方法 [P].

池渊宏 ;

冈谷秀树 .

中国专利 :CN102819195A ,2012-12-12

[9]

滤光片单元、照明单元、曝光装置及曝光方法 [P].

前田春辉 .

日本专利 :CN120958385A ,2025-11-14

[10]

曝光装置和照明单元 [P].

梶山康一 ;

水村通伸 ;

畑中诚 .

中国专利 :CN105209976B ,2015-12-30

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