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驱动方法、光源单元、照明单元、曝光装置、以及曝光方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202380096703.6
申请日：
2023-04-05
公开(公告)号：
CN120958384A
公开(公告)日：
2025-11-14
发明(设计)人：
吉田亮平 铃木智也 阿部文彦 松村信孝 多田友行 田洼秀治
申请人：
株式会社尼康
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
G03F7/20
IPC分类号：
代理机构：
北京市金杜律师事务所 11256
代理人：
闫剑平
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-12-02 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20230405
2025-11-14 公开 公开
共 50 条
[1]
光源单元、照明单元、曝光装置、以及曝光方法 [P]. 
吉田亮平 ;
铃木智也 ;
樱井友纪也 ;
犬童真成 .
日本专利 :CN119790351A ,2025-04-08
[2]
光源单元、照明单元、曝光装置、以及曝光方法 [P]. 
吉田亮平 ;
铃木智也 ;
樱井友纪也 ;
犬童真成 ;
岩永正也 .
日本专利 :CN119678106A ,2025-03-21
[3]
光源单元、照明单元、曝光装置、以及曝光方法 [P]. 
吉田亮平 ;
铃木智也 ;
阿部文彦 ;
松村信孝 ;
犬童真成 .
日本专利 :CN120958387A ,2025-11-14
[4]
光源单元、照明单元、曝光装置、及曝光方法 [P]. 
岩永正也 ;
川户聪 .
日本专利 :CN119585678A ,2025-03-07
[5]
照明单元、曝光装置、及曝光方法 [P]. 
岩永正也 ;
川户聪 ;
大川智之 ;
中臣聪 .
日本专利 :CN119585677A ,2025-03-07
[6]
合成光学元件、照明单元、曝光装置、以及曝光方法 [P]. 
岩永正也 ;
铃木智也 ;
竹中修二 ;
大川智之 .
日本专利 :CN119948408A ,2025-05-06
[7]
曝光装置的制造方法,光源单元、曝光装置、曝光方法以及曝光装置的调整方法 [P]. 
竹中修二 .
中国专利 :CN1708829A ,2005-12-14
[8]
曝光装置和曝光方法、以及曝光单元及使用该单元的曝光方法 [P]. 
池渊宏 ;
冈谷秀树 .
中国专利 :CN102819195A ,2012-12-12
[9]
滤光片单元、照明单元、曝光装置及曝光方法 [P]. 
前田春辉 .
日本专利 :CN120958385A ,2025-11-14
[10]
光学单元、照明光学装置、曝光装置、曝光方法以及元件制造方法 [P]. 
谷津修 .
中国专利 :CN101681120B ,2010-03-24
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