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改善SONOS闪存器件可靠性的面内均一性的方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201210300840.0
申请日：
2012-08-22
公开(公告)号：
CN103633030A
公开(公告)日：
2014-03-12
发明(设计)人：
刘继全
孙勤
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
IPC主分类号：
H01L218247
IPC分类号：
H01L21314
代理机构：
上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人：
高月红
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2014-04-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581313137 IPC(主分类):H01L 21/8247 专利申请号:2012103008400 申请日:20120822 |
| 2014-03-12 | 公开 | 公开 |
| 2017-01-11 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101744747382 IPC(主分类):H01L 21/8247 专利申请号:2012103008400 申请公布日:20140312 |