提高SONOS闪存器件可靠性的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910057870.1

申请日：

2009-09-03

公开(公告)号：

CN102005415A

公开(公告)日：

2011-04-06

发明(设计)人：

林钢

申请人：

申请人地址：

201206 上海市浦东新区川桥路1188号

IPC主分类号：

H01L218247

IPC分类号：

H01L21336 H01L2128

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

孙大为

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-05-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101071688080 IPC(主分类):H01L 21/8247 专利申请号:2009100578701 申请日:20090903
2011-04-06	公开	公开
2013-07-24	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101634623717 IPC(主分类):H01L 21/8247 专利申请号:2009100578701 申请公布日:20110406

共 50 条

[1]

提高SONOS闪存可靠性的方法 [P].

包德君 ;

莘海维 ;

徐爱斌 .

中国专利 :CN102800584A ,2012-11-28

[2]

采用ND3退火来提高SONOS闪存器件可靠性的方法 [P].

林钢 .

中国专利 :CN101872746A ,2010-10-27

[3]

利用选择性外延提升SONOS闪存器件可靠性的方法 [P].

杨欣 ;

孙勤 .

中国专利 :CN102117779A ,2011-07-06

[4]

一种改善SONOS闪存器件可靠性的方法 [P].

孙勤 .

中国专利 :CN105552034A ,2016-05-04

[5]

利用臭氧氧化来提升SONOS闪存器件可靠性的方法 [P].

杨欣 ;

孙勤 .

中国专利 :CN102117778A ,2011-07-06

[6]

改善SONOS闪存器件可靠性的面内均一性的方法 [P].

刘继全 ;

孙勤 .

中国专利 :CN103633030A ,2014-03-12

[7]

SONOS闪存器件及其制造方法 [P].

孙勤 ;

杨欣 .

中国专利 :CN102054842A ,2011-05-11

[8]

提高闪存资料存取可靠性的方法 [P].

谢仁伟 ;

郭大维 ;

谢享奇 .

中国专利 :CN101256521A ,2008-09-03

[9]

提高SONOS存储器可靠性的方法 [P].

陈冬 ;

刘政红 ;

齐瑞生 ;

黄冠群 .

中国专利 :CN115000076A ,2022-09-02

[10]

SONOS闪存器件及其编译方法 [P].

顾经纶 .

中国专利 :CN104157655B ,2014-11-19

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