等离子体单元以及制造等离子体单元的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310040245.2

申请日：

2013-02-01

公开(公告)号：

CN103247502A

公开(公告)日：

2013-08-14

发明(设计)人：

D.梅因霍尔德

申请人：

申请人地址：

德国瑙伊比贝尔格市坎芘昂1－12号

IPC主分类号：

H01J1704

IPC分类号：

H01J1122 H01J902

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

胡莉莉;刘春元

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-09-11	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101517525824 IPC(主分类):H01J 17/04 专利申请号:2013100402452 申请日:20130201
2016-03-16	授权	授权
2023-01-10	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 11/32 申请日:20130201 授权公告日:20160316 终止日期:20220201
2013-08-14	公开	公开

共 50 条

[1]

制造用于等离子体源的等离子体产生单元的方法 [P].

大卫·约翰·约翰逊 ;

吴菅 ;

弗拉基米尔·纳戈尔尼 ;

雨果·里维拉 .

美国专利 :CN119605318A ,2025-03-11

[2]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 ;

舆水地盐 ;

齐藤昌司 ;

传宝一树 ;

山涌纯 ;

饭塚八城 .

中国专利 :CN102054649A ,2011-05-11

[3]

等离子体处理方法以及等离子体处理装置 [P].

小林保男 ;

川村刚平 .

中国专利 :CN100508134C ,2006-12-20

[4]

等离子体处理方法以及等离子体装置 [P].

西宫智靖 ;

扇谷浩通 ;

平本道广 .

中国专利 :CN1992162A ,2007-07-04

[5]

等离子体发生单元及等离子体净化装置 [P].

王悦来 .

中国专利 :CN220570711U ,2024-03-08

[6]

等离子体源单元、等离子体源装置及其应用 [P].

唐永炳 ;

朱雨 ;

牛卉卉 ;

刘辉 .

中国专利 :CN106816353B ,2017-06-09

[7]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

奥村智洋 ;

川浦广 .

中国专利 :CN104641730A ,2015-05-20

[8]

等离子体处理方法以及等离子体处理装置 [P].

武藤悟 ;

小野哲郎 ;

大越康雄 ;

永德宏文 .

中国专利 :CN104103486B ,2014-10-15

[9]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

里吉务 .

中国专利 :CN1477682A ,2004-02-25

[10]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

森本未知数 ;

大越康雄 ;

大平原勇造 ;

小野哲郎 .

中国专利 :CN103632914A ,2014-03-12

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