载板加热机台以及真空镀膜设备

被引：0

申请号：

CN202220254354.9

申请日：

2022-02-08

公开(公告)号：

CN216891210U

公开(公告)日：

2022-07-05

发明(设计)人：

吴科俊林宏俊盛忍陈金元

申请人：

申请人地址：

201306 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区江山路2699弄3号厂房

IPC主分类号：

C23C1646

IPC分类号：

C23C1650 C23C1454 C23C1456 C23C1654

代理机构：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-05	授权	授权

共 50 条

[1]

传送载板及真空镀膜设备 [P].

周剑 ;

曹新民 ;

陈晨 ;

孙健 ;

施政辉 ;

徐文涛 ;

李王俊 ;

王青松 .

中国专利 :CN212270220U ,2021-01-01

[2]

用于真空镀膜设备的载板测温装置、方法以及真空镀膜设备 [P].

黄海宾 ;

刘翠翠 .

中国专利 :CN120084438A ,2025-06-03

[3]

传送载板、真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

周剑 ;

曹新民 ;

陈晨 ;

孙健 ;

施政辉 ;

徐文涛 ;

李王俊 ;

王青松 .

中国专利 :CN111471965B ,2024-08-23

[4]

传送载板、真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

周剑 ;

曹新民 ;

陈晨 ;

孙健 ;

施政辉 ;

徐文涛 ;

李王俊 ;

王青松 .

中国专利 :CN111471965A ,2020-07-31

[5]

载板传输装置和真空镀膜设备 [P].

左国军 ;

候岳明 ;

宋广华 ;

杨虎 .

中国专利 :CN217757649U ,2022-11-08

[6]

用于真空镀膜设备的加热机构 [P].

葛鹤龄 ;

程序雳 ;

杨运 ;

王怀民 ;

姜友松 .

中国专利 :CN221117598U ,2024-06-11

[7]

一种真空镀膜设备的加热机构 [P].

张飚 ;

刘玮 ;

蔡年华 .

中国专利 :CN223481252U ,2025-10-28

[8]

真空镀膜的真空组件以及真空镀膜设备 [P].

朱冰冰 ;

来华杭 ;

周海龙 ;

俞峰 .

中国专利 :CN211284524U ,2020-08-18

[9]

真空镀膜设备及其载板顶升机构 [P].

石鹏飞 .

中国专利 :CN222878069U ,2025-05-16

[10]

真空镀膜机加热设备及真空镀膜机 [P].

蒋贵霞 ;

贾建国 .

中国专利 :CN210856320U ,2020-06-26

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