传送载板及真空镀膜设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020708693.0

申请日：

2020-04-30

公开(公告)号：

CN212270220U

公开(公告)日：

2021-01-01

发明(设计)人：

周剑曹新民陈晨孙健施政辉徐文涛李王俊王青松

申请人：

申请人地址：

215200 江苏省苏州市吴江区吴江经济技术开发区龙桥路、芦荡路交叉口西北侧

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1456 C23C1450

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

孔令聪

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-01-01	授权	授权

共 50 条

[1]

传送载板、真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

周剑 ;

曹新民 ;

陈晨 ;

孙健 ;

施政辉 ;

徐文涛 ;

李王俊 ;

王青松 .

中国专利 :CN111471965B ,2024-08-23

[2]

传送载板、真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

周剑 ;

曹新民 ;

陈晨 ;

孙健 ;

施政辉 ;

徐文涛 ;

李王俊 ;

王青松 .

中国专利 :CN111471965A ,2020-07-31

[3]

真空镀膜室及真空镀膜设备 [P].

谭立 ;

余海春 ;

戴晓东 ;

吴凯 .

中国专利 :CN222160347U ,2024-12-13

[4]

载板传输装置和真空镀膜设备 [P].

左国军 ;

候岳明 ;

宋广华 ;

杨虎 .

中国专利 :CN217757649U ,2022-11-08

[5]

载板结构及真空镀膜设备 [P].

林松涛 .

中国专利 :CN221522764U ,2024-08-13

[6]

真空镀膜腔室及真空镀膜设备 [P].

杨海成 .

中国专利 :CN216614834U ,2022-05-27

[7]

真空镀膜腔室及真空镀膜设备 [P].

徐悦 .

中国专利 :CN209039569U ,2019-06-28

[8]

载板加热机台以及真空镀膜设备 [P].

吴科俊 ;

林宏俊 ;

盛忍 ;

陈金元 .

中国专利 :CN216891210U ,2022-07-05

[9]

真空镀膜设备及其载板顶升机构 [P].

石鹏飞 .

中国专利 :CN222878069U ,2025-05-16

[10]

用于真空镀膜设备的载板升温方法及载板 [P].

黄海宾 ;

刘翠翠 .

中国专利 :CN120366719A ,2025-07-25

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