用于真空镀膜设备的载板升温方法及载板

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510793736.7

申请日：

2025-06-13

公开(公告)号：

CN120366719A

公开(公告)日：

2025-07-25

发明(设计)人：

黄海宾刘翠翠

申请人：

江西汉可泛半导体技术有限公司

申请人地址：

332020 江西省九江市共青城市高新区火炬五路以北，科技二大道以东（汉可泛半导体智能装备制造产业园一期）厂房

IPC主分类号：

C23C14/50

IPC分类号：

代理机构：

北京康隆律师事务所 16232

代理人：

郑剑文

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-12	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/50申请日:20250613
2025-07-25	公开	公开

共 50 条

[1]

传送载板、真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

周剑 ;

曹新民 ;

陈晨 ;

孙健 ;

施政辉 ;

徐文涛 ;

李王俊 ;

王青松 .

中国专利 :CN111471965B ,2024-08-23

[2]

传送载板、真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

周剑 ;

曹新民 ;

陈晨 ;

孙健 ;

施政辉 ;

徐文涛 ;

李王俊 ;

王青松 .

中国专利 :CN111471965A ,2020-07-31

[3]

传送载板及真空镀膜设备 [P].

周剑 ;

曹新民 ;

陈晨 ;

孙健 ;

施政辉 ;

徐文涛 ;

李王俊 ;

王青松 .

中国专利 :CN212270220U ,2021-01-01

[4]

用于真空镀膜设备的载板测温装置、方法以及真空镀膜设备 [P].

黄海宾 ;

刘翠翠 .

中国专利 :CN120084438A ,2025-06-03

[5]

一种用于真空镀膜设备的载板 [P].

陈晨 ;

周剑 ;

张永胜 ;

孙健 ;

王青松 ;

其他发明人请求不公开姓名 .

中国专利 :CN210916243U ,2020-07-03

[6]

载板传输装置和真空镀膜设备 [P].

左国军 ;

候岳明 ;

宋广华 ;

杨虎 .

中国专利 :CN217757649U ,2022-11-08

[7]

载板传输方法及真空镀膜装置 [P].

解传佳 ;

曹新民 ;

彭孝龙 ;

於刘民 ;

朱浩 .

中国专利 :CN120174328A ,2025-06-20

[8]

载板加热机台以及真空镀膜设备 [P].

吴科俊 ;

林宏俊 ;

盛忍 ;

陈金元 .

中国专利 :CN216891210U ,2022-07-05

[9]

真空镀膜设备及其载板顶升机构 [P].

石鹏飞 .

中国专利 :CN222878069U ,2025-05-16

[10]

一种载板及真空镀膜装置 [P].

孙健 ;

杨艳红 ;

刘亚南 ;

陈晨 ;

王炯 .

中国专利 :CN222043346U ,2024-11-22

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