载板传输方法及真空镀膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510422438.7

申请日：

2025-04-07

公开(公告)号：

CN120174328A

公开(公告)日：

2025-06-20

发明(设计)人：

解传佳曹新民彭孝龙於刘民朱浩

申请人：

苏州迈为科技股份有限公司

申请人地址：

215200 江苏省苏州市吴江区芦荡路228号

IPC主分类号：

C23C14/56

IPC分类号：

C23C14/54 C23C16/54 C23C16/52

代理机构：

华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

郭凤杰

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-20	公开	公开
2025-07-08	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/56申请日:20250407

共 50 条

[1]

传送载板、真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

周剑 ;

曹新民 ;

陈晨 ;

孙健 ;

施政辉 ;

徐文涛 ;

李王俊 ;

王青松 .

中国专利 :CN111471965B ,2024-08-23

[2]

传送载板、真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

周剑 ;

曹新民 ;

陈晨 ;

孙健 ;

施政辉 ;

徐文涛 ;

李王俊 ;

王青松 .

中国专利 :CN111471965A ,2020-07-31

[3]

载板传输装置和真空镀膜设备 [P].

左国军 ;

候岳明 ;

宋广华 ;

杨虎 .

中国专利 :CN217757649U ,2022-11-08

[4]

一种载板及真空镀膜装置 [P].

孙健 ;

杨艳红 ;

刘亚南 ;

陈晨 ;

王炯 .

中国专利 :CN222043346U ,2024-11-22

[5]

一种载板及真空镀膜装置 [P].

周剑 ;

刘亚南 ;

陈晨 ;

孙健 ;

杨艳红 ;

王登志 .

中国专利 :CN222043345U ,2024-11-22

[6]

真空镀膜夹具及真空镀膜装置 [P].

张杰 ;

李标章 ;

黄裕祥 .

中国专利 :CN215713345U ,2022-02-01

[7]

传送载板及真空镀膜设备 [P].

周剑 ;

曹新民 ;

陈晨 ;

孙健 ;

施政辉 ;

徐文涛 ;

李王俊 ;

王青松 .

中国专利 :CN212270220U ,2021-01-01

[8]

真空镀膜装置及镀膜方法 [P].

吴金宝 ;

陈肇英 ;

施进德 ;

吕明生 .

中国专利 :CN101831611B ,2010-09-15

[9]

真空镀膜装置及镀膜方法 [P].

王君 .

中国专利 :CN104894522A ,2015-09-09

[10]

真空镀膜装置及其真空镀膜方法 [P].

熊丹 .

中国专利 :CN104120399A ,2014-10-29

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