一种载板及真空镀膜装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420537330.3

申请日：

2024-03-20

公开(公告)号：

CN222043346U

公开(公告)日：

2024-11-22

发明(设计)人：

孙健杨艳红刘亚南陈晨王炯

申请人：

苏州迈为科技股份有限公司苏州迈正科技有限公司

申请人地址：

215200 江苏省苏州市吴江区芦荡路228号

IPC主分类号：

C23C16/458

IPC分类号：

代理机构：

北京金智普华知识产权代理有限公司 11401

代理人：

沈晓东

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-22	授权	授权

共 50 条

[1]

一种载板及真空镀膜装置 [P].

周剑 ;

刘亚南 ;

陈晨 ;

孙健 ;

杨艳红 ;

王登志 .

中国专利 :CN222043345U ,2024-11-22

[2]

传送载板及真空镀膜设备 [P].

周剑 ;

曹新民 ;

陈晨 ;

孙健 ;

施政辉 ;

徐文涛 ;

李王俊 ;

王青松 .

中国专利 :CN212270220U ,2021-01-01

[3]

传送载板、真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

周剑 ;

曹新民 ;

陈晨 ;

孙健 ;

施政辉 ;

徐文涛 ;

李王俊 ;

王青松 .

中国专利 :CN111471965B ,2024-08-23

[4]

传送载板、真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

周剑 ;

曹新民 ;

陈晨 ;

孙健 ;

施政辉 ;

徐文涛 ;

李王俊 ;

王青松 .

中国专利 :CN111471965A ,2020-07-31

[5]

真空镀膜夹具及真空镀膜装置 [P].

张杰 ;

李标章 ;

黄裕祥 .

中国专利 :CN215713345U ,2022-02-01

[6]

载板传输方法及真空镀膜装置 [P].

解传佳 ;

曹新民 ;

彭孝龙 ;

於刘民 ;

朱浩 .

中国专利 :CN120174328A ,2025-06-20

[7]

载板传输装置和真空镀膜设备 [P].

左国军 ;

候岳明 ;

宋广华 ;

杨虎 .

中国专利 :CN217757649U ,2022-11-08

[8]

一种真空镀膜装置 [P].

刘玉洲 ;

李坤 ;

张永祺 ;

张永胜 .

中国专利 :CN222205394U ,2024-12-20

[9]

真空镀膜装置及系统 [P].

安乐 ;

秦小宏 .

中国专利 :CN220724328U ,2024-04-05

[10]

一种硅片镀膜载具及真空镀膜设备 [P].

戴佳 ;

朱鹤囡 ;

孔琪 ;

董雪迪 ;

李勃 .

中国专利 :CN222182425U ,2024-12-17

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