抗蚀剂组合物的制造方法、过滤装置、抗蚀剂组合物的涂敷装置以及抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200680026038.X

申请日：

2006-07-12

公开(公告)号：

CN101223482A

公开(公告)日：

2008-07-16

发明(设计)人：

室井雅昭尾崎弘和

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

G03F726

IPC分类号：

B01D6114 B01D6158 B01D7126 B01D7132 B01D7156 G03F7039 G03F716 H01L21027

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

李贵亮

法律状态：

公开

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

抗蚀剂组合物的制造方法、过滤装置、抗蚀剂组合物的涂敷装置以及抗蚀剂组合物 [P].

室井雅昭 ;

尾崎弘和 .

中国专利 :CN103399467A ,2013-11-20

[2]

抗蚀剂组合物 [P].

牧泽克宪 ;

片山彻 .

中国专利 :CN101109899A ,2008-01-23

[3]

抗蚀剂组合物 [P].

冈田伸治 ;

川口泰秀 ;

武部洋子 ;

金子勇 ;

児玉俊一 .

中国专利 :CN100422853C ,2003-09-17

[4]

抗蚀剂组合物 [P].

平山拓 ;

羽田英夫 ;

藤村悟史 ;

岩井武 ;

佐藤充 ;

高须亮一 ;

立川俊和 ;

岩下淳 ;

石塚启太 ;

山田知孝 ;

高山寿一 ;

吉田正昭 .

中国专利 :CN1742234A ,2006-03-01

[5]

抗蚀剂组合物 [P].

石垣聪 ;

松木邦夫 .

中国专利 :CN1813221A ,2006-08-02

[6]

抗蚀剂组合物 [P].

松田洋和 ;

堀口明 ;

大谷浩司 ;

高桥一史 .

中国专利 :CN1670628B ,2005-09-21

[7]

抗蚀剂组合物 [P].

堀口明 ;

赤井泰之 ;

片山彻 .

中国专利 :CN101482698A ,2009-07-15

[8]

抗蚀剂组合物 [P].

田中彻则 ;

牧泽克宪 .

中国专利 :CN1975572A ,2007-06-06

[9]

抗蚀剂组合物 [P].

金艺灿 ;

洪锡九 ;

金秀珉 ;

金珠英 ;

金珍珠 ;

金贤友 ;

朴柱铉 ;

宋炫知 ;

李松世 .

中国专利 :CN113219788A ,2021-08-06

[10]

抗蚀剂组合物 [P].

牧泽克宪 ;

片山彻 .

中国专利 :CN1782877A ,2006-06-07

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-07-16	公开	公开
2013-12-11	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101678874197 IPC(主分类):G03F 7/26 专利申请号:200680026038X 申请公布日:20080716
2008-09-10	实质审查的生效	实质审查的生效