抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510124725.2

申请日：

2005-11-16

公开(公告)号：

CN1782877A

公开(公告)日：

2006-06-07

发明(设计)人：

牧泽克宪片山彻

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

G03F7039

IPC分类号：

G03F700

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

张平元;赵仁临

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-12-05	实质审查的生效	实质审查的生效
2006-06-07	公开	公开
2010-07-21	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101003373092 IPC(主分类):G03F 7/039 专利申请号:2005101247252 公开日:20060607

共 50 条

[1]

抗蚀剂组合物 [P].

堀口明 ;

赤井泰之 ;

片山彻 .

中国专利 :CN101482698A ,2009-07-15

[2]

抗蚀剂组合物 [P].

牧泽克宪 ;

片山彻 .

中国专利 :CN101109899A ,2008-01-23

[3]

抗蚀剂组合物 [P].

石垣聪 ;

松木邦夫 .

中国专利 :CN1813221A ,2006-08-02

[4]

抗蚀剂组合物 [P].

松田洋和 ;

堀口明 ;

大谷浩司 ;

高桥一史 .

中国专利 :CN1670628B ,2005-09-21

[5]

抗蚀剂组合物 [P].

田中彻则 ;

牧泽克宪 .

中国专利 :CN1975572A ,2007-06-06

[6]

水性抗蚀剂组合物 [P].

石垣聪 ;

木村和弥 ;

松木邦夫 .

中国专利 :CN1882880A ,2006-12-20

[7]

抗蚀剂组合物 [P].

冈田伸治 ;

川口泰秀 ;

武部洋子 ;

金子勇 ;

児玉俊一 .

中国专利 :CN100422853C ,2003-09-17

[8]

抗蚀剂组合物 [P].

平山拓 ;

羽田英夫 ;

藤村悟史 ;

岩井武 ;

佐藤充 ;

高须亮一 ;

立川俊和 ;

岩下淳 ;

石塚启太 ;

山田知孝 ;

高山寿一 ;

吉田正昭 .

中国专利 :CN1742234A ,2006-03-01

[9]

抗蚀剂组合物 [P].

袁三平 .

中国专利 :CN102981363A ,2013-03-20

[10]

抗蚀剂剥离液组合物 [P].

房淳洪 ;

金佑逸 ;

崔庆默 ;

金炳默 ;

白钟旭 ;

洪宪杓 .

中国专利 :CN107526255A ,2017-12-29

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