抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510055829.2

申请日：

2005-03-15

公开(公告)号：

CN1670628B

公开(公告)日：

2005-09-21

发明(设计)人：

松田洋和堀口明大谷浩司高桥一史

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

G03F742

IPC分类号：

C11D726

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

张平元;赵仁临

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-09-14	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101738930701 IPC(主分类):G03F 7/42 专利号:ZL2005100558292 变更事项:专利权人变更前:大赛璐化学工业株式会社变更后:株式会社大赛璐变更事项:地址变更前:日本大阪府变更后:日本大阪府
2007-02-14	实质审查的生效	实质审查的生效
2011-02-09	授权	授权
2005-09-21	公开	公开

共 50 条

[1]

抗蚀剂组合物 [P].

堀口明 ;

赤井泰之 ;

片山彻 .

中国专利 :CN101482698A ,2009-07-15

[2]

抗蚀剂组合物 [P].

小黑大 ;

林武夫 ;

越后雅敏 .

中国专利 :CN1517794A ,2004-08-04

[3]

抗蚀剂组合物 [P].

今田知之 ;

长田裕仁 .

中国专利 :CN113227181A ,2021-08-06

[4]

抗蚀剂组合物 [P].

牧泽克宪 ;

片山彻 .

中国专利 :CN1782877A ,2006-06-07

[5]

抗蚀剂剥离液组合物 [P].

金正铉 ;

高京俊 ;

崔汉永 .

中国专利 :CN107121899A ,2017-09-01

[6]

抗蚀剂剥离液组合物 [P].

李荣宰 ;

赵汉爀 ;

金正铉 .

中国专利 :CN111596533A ,2020-08-28

[7]

抗蚀剂剥离液组合物 [P].

金正铉 ;

金圣植 ;

高京俊 .

中国专利 :CN108693718B ,2018-10-23

[8]

抗蚀剂剥离液组合物 [P].

房淳洪 ;

金佑逸 ;

洪宪杓 .

中国专利 :CN108345190A ,2018-07-31

[9]

抗蚀剂组合物和抗蚀剂组合物的使用方法 [P].

冈田拓巳 ;

佐藤英之 ;

片桐诚之 ;

铃木周 .

中国专利 :CN115151863A ,2022-10-04

[10]

抗蚀剂组合物和使用该抗蚀剂组合物的抗蚀剂膜形成方法 [P].

冈田拓巳 ;

星野良辅 ;

佐藤英之 ;

片桐诚之 ;

铃木周 ;

越后雅敏 .

日本专利 :CN117716290A ,2024-03-15

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