抗蚀剂组合物和使用该抗蚀剂组合物的抗蚀剂膜形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202280052523.3

申请日：

2022-07-25

公开(公告)号：

CN117716290A

公开(公告)日：

2024-03-15

发明(设计)人：

冈田拓巳星野良辅佐藤英之片桐诚之铃木周越后雅敏

申请人：

三菱瓦斯化学株式会社

申请人地址：

日本

IPC主分类号：

G03F7/004

IPC分类号：

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳;崔仁娜

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-02	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/004申请日:20220725
2024-03-15	公开	公开

共 50 条

[1]

抗蚀剂组合物和使用其的抗蚀剂膜形成方法 [P].

冈田拓巳 ;

星野良辅 ;

佐藤英之 ;

片桐诚之 ;

铃木周 ;

越后雅敏 .

日本专利 :CN119422108A ,2025-02-11

[2]

抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案形成方法 [P].

熊田信次 ;

前盛谕 ;

新井雅俊 ;

盐野大寿 .

中国专利 :CN102621807A ,2012-08-01

[3]

抗蚀剂组合物和抗蚀剂组合物的使用方法 [P].

冈田拓巳 ;

佐藤英之 ;

片桐诚之 ;

铃木周 .

中国专利 :CN115151863A ,2022-10-04

[4]

抗蚀剂剥离剂组合物以及使用该组合物的抗蚀剂剥离方法 [P].

藤冈东洋藏 ;

山崎勇人 .

中国专利 :CN102301283A ,2011-12-28

[5]

抗蚀剂组合物和抗蚀剂膜 [P].

星野学 .

中国专利 :CN111587402A ,2020-08-25

[6]

形成抗蚀剂下层膜的组合物及使用该组合物的抗蚀剂图案的形成方法 [P].

大西龙慈 ;

远藤贵文 ;

坂本力丸 .

中国专利 :CN103415809B ,2013-11-27

[7]

抗蚀剂组合物 [P].

堀口明 ;

赤井泰之 ;

片山彻 .

中国专利 :CN101482698A ,2009-07-15

[8]

抗蚀剂组合物和抗蚀膜 [P].

户塚凉 ;

大西贤午 .

中国专利 :CN111684011A ,2020-09-18

[9]

抗蚀剂组合物及抗蚀图案形成方法 [P].

长峰高志 ;

中村刚 .

中国专利 :CN107844031A ,2018-03-27

[10]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

砂道智成 ;

中川裕介 ;

米村幸治 ;

平野智之 ;

齐藤彩 .

中国专利 :CN112445067A ,2021-03-05

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