抗蚀剂组合物和抗蚀剂膜

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980007547.5

申请日：

2019-01-17

公开(公告)号：

CN111587402A

公开(公告)日：

2020-08-25

发明(设计)人：

星野学

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

G03F7039

IPC分类号：

C08F1206 G03F7004 G03F720

代理机构：

北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413

代理人：

杨卫萍;刘继富

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/039 申请日:20190117
2020-08-25	公开	公开

共 50 条

[1]

抗蚀剂组合物和抗蚀膜 [P].

户塚凉 ;

大西贤午 .

中国专利 :CN111684011A ,2020-09-18

[2]

厚膜抗蚀剂组合物和使用该厚膜抗蚀剂组合物的抗蚀剂膜的制造方法 [P].

河户俊二 ;

铃木理人 ;

高市哲正 ;

佐尾高步 ;

平山拓 .

中国专利 :CN113632006A ,2021-11-09

[3]

抗蚀剂组合物 [P].

冈田伸治 ;

川口泰秀 ;

武部洋子 ;

金子勇 ;

児玉俊一 .

中国专利 :CN100422853C ,2003-09-17

[4]

抗蚀剂组合物 [P].

金艺灿 ;

金秀珉 ;

金珠英 ;

金珍珠 ;

金贤友 ;

朴柱铉 ;

宋炫知 ;

李松世 ;

洪锡九 .

中国专利 :CN113219787A ,2021-08-06

[5]

抗蚀剂组合物 [P].

林庆煌 ;

R·C·马斯 ;

S·F·伍伊斯特 .

中国专利 :CN114830031A ,2022-07-29

[6]

抗蚀剂组合物 [P].

金艺灿 ;

洪锡九 ;

金秀珉 ;

金珠英 ;

金珍珠 ;

金贤友 ;

朴柱铉 ;

宋炫知 ;

李松世 .

中国专利 :CN113219788A ,2021-08-06

[7]

抗蚀剂组合物 [P].

前沢典明 ;

浦野文良 .

中国专利 :CN1633628A ,2005-06-29

[8]

抗蚀剂组合物和使用该抗蚀剂组合物的抗蚀剂膜形成方法 [P].

冈田拓巳 ;

星野良辅 ;

佐藤英之 ;

片桐诚之 ;

铃木周 ;

越后雅敏 .

日本专利 :CN117716290A ,2024-03-15

[9]

厚膜抗蚀剂膜形成用抗蚀剂组合物、厚膜抗蚀剂层叠体以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

赵恩率 ;

大野庆晃 ;

柳大喆 .

中国专利 :CN113281963A ,2021-08-20

[10]

抗蚀剂组合物和形成抗蚀剂图案的方法 [P].

解德升 ;

夏元玲 ;

刘敏 .

中国专利 :CN118795729A ,2024-10-18

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