抗蚀剂组合物和抗蚀剂组合物的使用方法

被引：0

申请号：

CN202180016481.3

申请日：

2021-02-17

公开(公告)号：

CN115151863A

公开(公告)日：

2022-10-04

发明(设计)人：

冈田拓巳佐藤英之片桐诚之铃木周

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F7004

IPC分类号：

G03F7023 G03F7038 G03F7039 C07C69675

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳;程采

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-10-04	公开	公开

共 50 条

[1]

抗蚀剂组合物和使用该抗蚀剂组合物的抗蚀剂膜形成方法 [P].

冈田拓巳 ;

星野良辅 ;

佐藤英之 ;

片桐诚之 ;

铃木周 ;

越后雅敏 .

日本专利 :CN117716290A ,2024-03-15

[2]

抗蚀剂组合物 [P].

堀口明 ;

赤井泰之 ;

片山彻 .

中国专利 :CN101482698A ,2009-07-15

[3]

抗蚀剂剥离剂组合物以及使用该组合物的抗蚀剂剥离方法 [P].

藤冈东洋藏 ;

山崎勇人 .

中国专利 :CN102301283A ,2011-12-28

[4]

抗蚀剂组合物 [P].

金艺灿 ;

金秀珉 ;

金珠英 ;

金珍珠 ;

金贤友 ;

朴柱铉 ;

宋炫知 ;

李松世 ;

洪锡九 .

中国专利 :CN113219787A ,2021-08-06

[5]

抗蚀剂组合物 [P].

小黑大 ;

林武夫 ;

越后雅敏 .

中国专利 :CN1517794A ,2004-08-04

[6]

抗蚀剂组合物 [P].

松田洋和 ;

堀口明 ;

大谷浩司 ;

高桥一史 .

中国专利 :CN1670628B ,2005-09-21

[7]

抗蚀剂组合物 [P].

今田知之 ;

长田裕仁 .

中国专利 :CN113227181A ,2021-08-06

[8]

抗蚀剂组合物和使用其的抗蚀剂膜形成方法 [P].

冈田拓巳 ;

星野良辅 ;

佐藤英之 ;

片桐诚之 ;

铃木周 ;

越后雅敏 .

日本专利 :CN119422108A ,2025-02-11

[9]

抗蚀剂组合物 [P].

越后雅敏 ;

小黑大 .

中国专利 :CN1942825B ,2007-04-04

[10]

抗蚀剂组合物 [P].

冈田伸治 ;

川口泰秀 ;

武部洋子 ;

金子勇 ;

児玉俊一 .

中国专利 :CN100422853C ,2003-09-17

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