抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980086276.7

申请日：

2019-11-26

公开(公告)号：

CN113227181A

公开(公告)日：

2021-08-06

发明(设计)人：

今田知之长田裕仁

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C08G818

IPC分类号：

C08G820 G03F7023 G03F720

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;李茂家

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C08G 8/18 申请日:20191126
2021-08-06	公开	公开

共 50 条

[1]

正型光致抗蚀剂组合物 [P].

今田知之 ;

鹿毛孝和 ;

今泉规史 .

中国专利 :CN103270451A ,2013-08-28

[2]

抗蚀剂组合物 [P].

堀口明 ;

赤井泰之 ;

片山彻 .

中国专利 :CN101482698A ,2009-07-15

[3]

抗蚀剂组合物及抗蚀图案的制造方法 [P].

杉原昌子 ;

中西润次 ;

西村崇 .

中国专利 :CN106019833B ,2016-10-12

[4]

抗蚀剂下层膜形成用感光性组合物及抗蚀剂下层膜 [P].

今田知之 .

中国专利 :CN107003612B ,2017-08-01

[5]

抗蚀剂组合物 [P].

金艺灿 ;

金秀珉 ;

金珠英 ;

金珍珠 ;

金贤友 ;

朴柱铉 ;

宋炫知 ;

李松世 ;

洪锡九 .

中国专利 :CN113219787A ,2021-08-06

[6]

抗蚀剂组合物 [P].

小黑大 ;

林武夫 ;

越后雅敏 .

中国专利 :CN1517794A ,2004-08-04

[7]

抗蚀剂组合物 [P].

松田洋和 ;

堀口明 ;

大谷浩司 ;

高桥一史 .

中国专利 :CN1670628B ,2005-09-21

[8]

抗蚀剂组合物 [P].

袁三平 .

中国专利 :CN102981363A ,2013-03-20

[9]

光致抗蚀剂用酚醛树脂组合物及光致抗蚀剂组合物 [P].

黑岩贞昭 .

中国专利 :CN111051374A ,2020-04-21

[10]

抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案形成方法 [P].

熊田信次 ;

前盛谕 ;

新井雅俊 ;

盐野大寿 .

中国专利 :CN102621807A ,2012-08-01

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