水性抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200480033859.7

申请日：

2004-11-15

公开(公告)号：

CN1882880A

公开(公告)日：

2006-12-20

发明(设计)人：

石垣聪木村和弥松木邦夫

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F7032

IPC分类号：

代理机构：

北京市中咨律师事务所

代理人：

林柏楠;刘金辉

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-12-20	公开	公开
2007-02-14	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-01-27	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回

共 50 条

[1]

抗蚀剂组合物 [P].

石垣聪 ;

松木邦夫 .

中国专利 :CN1813221A ,2006-08-02

[2]

抗蚀剂组合物 [P].

牧泽克宪 ;

片山彻 .

中国专利 :CN1782877A ,2006-06-07

[3]

抗蚀剂组合物 [P].

牧泽克宪 ;

片山彻 .

中国专利 :CN101109899A ,2008-01-23

[4]

抗蚀剂组合物 [P].

冈田伸治 ;

川口泰秀 ;

武部洋子 ;

金子勇 ;

児玉俊一 .

中国专利 :CN100422853C ,2003-09-17

[5]

抗蚀剂组合物 [P].

平山拓 ;

羽田英夫 ;

藤村悟史 ;

岩井武 ;

佐藤充 ;

高须亮一 ;

立川俊和 ;

岩下淳 ;

石塚启太 ;

山田知孝 ;

高山寿一 ;

吉田正昭 .

中国专利 :CN1742234A ,2006-03-01

[6]

抗蚀剂组合物 [P].

松田洋和 ;

堀口明 ;

大谷浩司 ;

高桥一史 .

中国专利 :CN1670628B ,2005-09-21

[7]

抗蚀剂组合物 [P].

安藤信雄 ;

武元一树 .

中国专利 :CN101900942A ,2010-12-01

[8]

抗蚀剂组合物 [P].

堀口明 ;

赤井泰之 ;

片山彻 .

中国专利 :CN101482698A ,2009-07-15

[9]

抗蚀剂组合物 [P].

田中彻则 ;

牧泽克宪 .

中国专利 :CN1975572A ,2007-06-06

[10]

抗蚀剂组合物 [P].

袁三平 .

中国专利 :CN102981363A ,2013-03-20

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