水性抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200480033859.7

申请日：

2004-11-15

公开(公告)号：

CN1882880A

公开(公告)日：

2006-12-20

发明(设计)人：

石垣聪木村和弥松木邦夫

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F7032

IPC分类号：

代理机构：

北京市中咨律师事务所

代理人：

林柏楠;刘金辉

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-12-20	公开	公开
2007-02-14	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-01-27	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回

共 50 条

[41]

抗蚀剂剥离液组合物 [P].

金正铉 ;

金圣植 ;

高京俊 .

中国专利 :CN108693718B ,2018-10-23

[42]

正型抗蚀剂组合物 [P].

高桥和树 ;

松本直纯 ;

引田二郎 .

中国专利 :CN104076607A ,2014-10-01

[43]

抗蚀剂剥离液组合物 [P].

房淳洪 ;

金佑逸 ;

洪宪杓 .

中国专利 :CN108345190A ,2018-07-31

[44]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

中村刚 ;

铃木阳介 ;

李俊烨 .

中国专利 :CN112654926A ,2021-04-13

[45]

抗蚀剂组合物和抗蚀膜 [P].

户塚凉 ;

大西贤午 .

中国专利 :CN111684011A ,2020-09-18

[46]

抗蚀剂下层膜形成用组合物 [P].

境田康志 ;

高濑显司 ;

岸冈高广 ;

坂本力丸 .

中国专利 :CN109073977B ,2018-12-21

[47]

抗蚀剂组合物及其使用方法 [P].

詹姆斯·J·布奇格纳诺 ;

黄武松 ;

戴维·P·克劳斯 ;

利迪杰·塞卡里克 ;

拉曼·G·维斯瓦纳思安 .

中国专利 :CN1877447A ,2006-12-13

[48]

形成抗蚀剂下层膜的组合物 [P].

坂口崇洋 ;

新城彻也 .

中国专利 :CN101641644A ,2010-02-03

[49]

化学放大的阳性抗蚀剂组合物 [P].

武元一树 ;

山口训史 ;

坂本宏 .

中国专利 :CN1800977A ,2006-07-12

[50]

抗蚀剂剥离剂组合物和使用该组合物的抗蚀剂的剥离方法 [P].

水田浩德 ;

柿沢政彦 .

中国专利 :CN102483591A ,2012-05-30

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