抗蚀剂组合物及其使用方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610066565.5

申请日：

2006-04-03

公开(公告)号：

CN1877447A

公开(公告)日：

2006-12-13

发明(设计)人：

詹姆斯·J·布奇格纳诺黄武松戴维·P·克劳斯利迪杰·塞卡里克拉曼·G·维斯瓦纳思安

申请人：

申请人地址：

美国纽约

IPC主分类号：

G03F7004

IPC分类号：

G03F720 H01L21027

代理机构：

北京市金杜律师事务所

代理人：

陈文平

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-12-13	公开	公开
2010-12-08	授权	授权
2007-02-14	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

抗蚀剂组合物和抗蚀剂组合物的使用方法 [P].

冈田拓巳 ;

佐藤英之 ;

片桐诚之 ;

铃木周 .

中国专利 :CN115151863A ,2022-10-04

[2]

抗蚀剂组合物 [P].

林庆煌 ;

R·C·马斯 ;

S·F·伍伊斯特 .

中国专利 :CN114830031A ,2022-07-29

[3]

化学放大型光致抗蚀剂组合物及其使用方法 [P].

R·A·迪佩托 ;

R·D·艾伦 ;

P·J·布罗克 ;

H·特鲁昂 .

中国专利 :CN106980235A ,2017-07-25

[4]

化学放大型光致抗蚀剂组合物及其使用方法 [P].

R·A·迪佩托 ;

R·D·艾伦 ;

P·J·布罗克 ;

H·特鲁昂 .

中国专利 :CN102472971A ,2012-05-23

[5]

水性抗蚀剂组合物 [P].

石垣聪 ;

木村和弥 ;

松木邦夫 .

中国专利 :CN1882880A ,2006-12-20

[6]

抗蚀剂用聚合物及抗蚀剂组合物 [P].

百濑阳 ;

大竹敦 ;

上田昭史 ;

藤原匡之 ;

竹下优 ;

林亮太郎 ;

岩井武 .

中国专利 :CN100406481C ,2006-03-08

[7]

化学放大型抗蚀剂组合物 [P].

高田佳幸 ;

宫川贵行 ;

枝松邦茂 .

中国专利 :CN101206405A ,2008-06-25

[8]

抗蚀剂组合物 [P].

冈田伸治 ;

川口泰秀 ;

武部洋子 ;

金子勇 ;

児玉俊一 .

中国专利 :CN100422853C ,2003-09-17

[9]

抗蚀剂组合物 [P].

W-P·福尔蒂森 ;

玛丽亚-克莱尔·范拉尔 ;

S·F·伍伊斯特 .

中国专利 :CN109154772A ,2019-01-04

[10]

抗蚀剂组合物 [P].

金艺灿 ;

金秀珉 ;

金珠英 ;

金珍珠 ;

金贤友 ;

朴柱铉 ;

宋炫知 ;

李松世 ;

洪锡九 .

中国专利 :CN113219787A ,2021-08-06

← 1 2 3 4 5 →