化学放大型光致抗蚀剂组合物及其使用方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201611129943.X

申请日：

2010-08-03

公开(公告)号：

CN106980235A

公开(公告)日：

2017-07-25

发明(设计)人：

R·A·迪佩托 R·D·艾伦 P·J·布罗克 H·特鲁昂

申请人：

申请人地址：

美国纽约阿芒克

IPC主分类号：

G03F7039

IPC分类号：

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

陈长会;马慧

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-08-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101742563345 IPC(主分类):G03F 7/039 专利申请号:201611129943X 申请日:20100803
2017-07-25	公开	公开
2020-08-11	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F 7/039 申请公布日:20170725

共 50 条

[1]

化学放大型光致抗蚀剂组合物及其使用方法 [P].

R·A·迪佩托 ;

R·D·艾伦 ;

P·J·布罗克 ;

H·特鲁昂 .

中国专利 :CN102472971A ,2012-05-23

[2]

化学放大型光致抗蚀剂组合物及抗蚀图案的制造方法 [P].

市川幸司 ;

平冈崇志 .

中国专利 :CN101930178A ,2010-12-29

[3]

化学放大型正型光致抗蚀剂组合物 [P].

馆俊聪 ;

宫城贤 ;

铃木贵子 .

中国专利 :CN1749857A ,2006-03-22

[4]

化学放大型负性光致抗蚀剂组合物 [P].

李昇勋 ;

李昇炫 ;

李秀珍 ;

崔映喆 .

中国专利 :CN109154776B ,2019-01-04

[5]

化学放大正性光致抗蚀剂组合物 [P].

新田和行 ;

本池直人 .

中国专利 :CN1692314B ,2005-11-02

[6]

一种化学放大型光致抗蚀剂及其制备方法 [P].

范宏玥 ;

张路 .

中国专利 :CN117826530A ,2024-04-05

[7]

化学放大型光致抗蚀剂组合物和形成图案的方法 [P].

市川幸司 ;

杉原昌子 ;

藤裕介 .

中国专利 :CN101799629A ,2010-08-11

[8]

正型超厚光致抗蚀剂组合物 [P].

刘卫宏 ;

陈春伟 .

德国专利 :CN118284854A ,2024-07-02

[9]

化学放大型正性光致抗蚀剂组合物以及形成抗蚀剂图案的方法 [P].

中川裕介 ;

秀坂慎一 ;

丸山健治 ;

嶋谷聪 ;

增岛正宏 ;

新田和行 .

中国专利 :CN1701280A ,2005-11-23

[10]

化学放大型抗蚀剂组合物 [P].

山口训史 ;

高田佳幸 ;

荒木香 .

中国专利 :CN101271272A ,2008-09-24

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