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水性抗蚀剂组合物
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200480033859.7
申请日：
2004-11-15
公开(公告)号：
CN1882880A
公开(公告)日：
2006-12-20
发明(设计)人：
石垣聪
木村和弥
松木邦夫
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
G03F7032
IPC分类号：
代理机构：
北京市中咨律师事务所
代理人：
林柏楠;刘金辉
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2006-12-20 | 公开 | 公开 |
| 2007-02-14 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2010-01-27 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 |