抗蚀剂组合物以及用于除去抗蚀剂的有机溶剂

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200480010756.9

申请日：

2004-04-23

公开(公告)号：

CN100541338C

公开(公告)日：

2006-05-24

发明(设计)人：

姜德万吴世泰权赫重内藤荣治

申请人：

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

G03F742

IPC分类号：

代理机构：

北京三幸商标专利事务所

代理人：

刘激扬

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-05-24	公开	公开
2015-05-06	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101714589946 IPC(主分类):G03F 7/42 专利号:ZL2004800107569 变更事项:专利权人变更前权利人:AZ电子材料IP(日本)株式会社变更后权利人:默克专利有限公司变更事项:地址变更前权利人:日本国东京都变更后权利人:德国达姆施塔特登记生效日:20150414
2009-09-16	授权	授权
2006-07-19	实质审查的生效	实质审查的生效
2012-07-04	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101400726980 IPC(主分类):G03F 7/42 专利号:ZL2004800107569 变更事项:专利权人变更前:AZ电子材料(日本)株式会社变更后:AZ电子材料IP(日本)株式会社变更事项:地址变更前:日本国东京都变更后:日本国东京都

共 50 条

[1]

抗蚀剂除去方法以及抗蚀剂除去装置 [P].

和田昌之 .

中国专利 :CN1920673B ,2007-02-28

[2]

抗蚀剂除去装置以及抗蚀剂除去方法 [P].

佐伯尚之 .

中国专利 :CN105280522B ,2016-01-27

[3]

抗蚀剂组合物 [P].

石垣聪 ;

松木邦夫 .

中国专利 :CN1813221A ,2006-08-02

[4]

抗蚀剂组合物 [P].

牧泽克宪 ;

片山彻 .

中国专利 :CN1782877A ,2006-06-07

[5]

除去抗蚀剂的方法和除去抗蚀剂的装置 [P].

山崎和俊 ;

古野喜彦 ;

藤森洋治 .

中国专利 :CN1774793A ,2006-05-17

[6]

抗蚀剂组合物的制造方法、过滤装置、抗蚀剂组合物的涂敷装置以及抗蚀剂组合物 [P].

室井雅昭 ;

尾崎弘和 .

中国专利 :CN103399467A ,2013-11-20

[7]

抗蚀剂组合物的制造方法、过滤装置、抗蚀剂组合物的涂敷装置以及抗蚀剂组合物 [P].

室井雅昭 ;

尾崎弘和 .

中国专利 :CN101223482A ,2008-07-16

[8]

抗蚀剂图案形成方法、抗蚀剂图案、使用有机溶剂显影的可交联负型化学增幅型抗蚀剂组合物、抗蚀剂膜及抗蚀剂涂布空白遮罩 [P].

土桥彻 ;

八尾忠辉 ;

高桥孝太郎 ;

土村智孝 .

中国专利 :CN103460133A ,2013-12-18

[9]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

中村刚 ;

铃木阳介 ;

李俊烨 .

中国专利 :CN112654926A ,2021-04-13

[10]

抗蚀剂组合物 [P].

牧泽克宪 ;

片山彻 .

中国专利 :CN101109899A ,2008-01-23

← 1 2 3 4 5 →