抗蚀剂除去方法以及抗蚀剂除去装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610125701.3

申请日：

2006-08-25

公开(公告)号：

CN1920673B

公开(公告)日：

2007-02-28

发明(设计)人：

和田昌之

申请人：

申请人地址：

日本京都府京都市

IPC主分类号：

G03F742

IPC分类号：

代理机构：

隆天国际知识产权代理有限公司 72003

代理人：

徐恕

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-05-11	授权	授权
2015-04-01	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101713288219 IPC(主分类):G03F 7/42 专利号:ZL2006101257013 变更事项:专利权人变更前:大日本网屏制造株式会社变更后:斯克林集团公司变更事项:地址变更前:日本京都府京都市变更后:日本京都府京都市
2007-04-25	实质审查的生效	实质审查的生效
2015-04-01	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101713288218 IPC(主分类):G03F 7/42 专利号:ZL2006101257013 变更事项:专利权人变更前:大日本网目版制造株式会社变更后:大日本网屏制造株式会社变更事项:地址变更前:日本京都府京都市变更后:日本京都府京都市
2007-02-28	公开	公开

共 50 条

[1]

抗蚀剂除去装置以及抗蚀剂除去方法 [P].

佐伯尚之 .

中国专利 :CN105280522B ,2016-01-27

[2]

抗蚀剂除去装置和抗蚀剂除去方法 [P].

土桥和也 ;

布瀬晓志 .

中国专利 :CN102906858A ,2013-01-30

[3]

除去抗蚀剂的方法和除去抗蚀剂的装置 [P].

山崎和俊 ;

古野喜彦 ;

藤森洋治 .

中国专利 :CN1774793A ,2006-05-17

[4]

抗蚀剂组合物以及用于除去抗蚀剂的有机溶剂 [P].

姜德万 ;

吴世泰 ;

权赫重 ;

内藤荣治 .

中国专利 :CN100541338C ,2006-05-24

[5]

抗蚀剂去除方法以及抗蚀剂去除装置 [P].

宗德皓太 ;

鳅场真树 .

日本专利 :CN111095486B ,2024-09-17

[6]

抗蚀剂去除方法以及抗蚀剂去除装置 [P].

宗德皓太 ;

鳅场真树 .

日本专利 :CN119132930A ,2024-12-13

[7]

抗蚀剂涂敷方法以及抗蚀剂涂敷装置 [P].

吉原孝介 ;

井关智弘 .

中国专利 :CN1952781A ,2007-04-25

[8]

抗蚀剂去除方法以及抗蚀剂去除装置 [P].

宗德皓太 ;

鳅场真树 .

中国专利 :CN111095486A ,2020-05-01

[9]

在抗蚀剂剥离室中从衬底上除去抗蚀剂的方法 [P].

艾瑞克·A·艾迪尔博格 ;

格拉迪丝·S·洛 ;

杰克·K·库 .

中国专利 :CN1841214A ,2006-10-04

[10]

抗蚀剂和蚀刻副产品除去组合物及使用该组合物除去抗蚀剂的方法 [P].

朴东镇 ;

金经大 ;

全相文 ;

黄震虎 ;

孙一现 ;

权相五 ;

田弼权 .

中国专利 :CN1407409A ,2003-04-02

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