除去抗蚀剂的方法和除去抗蚀剂的装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200480010371.2

申请日：

2004-04-16

公开(公告)号：

CN1774793A

公开(公告)日：

2006-05-17

发明(设计)人：

山崎和俊古野喜彦藤森洋治

申请人：

申请人地址：

日本大阪

IPC主分类号：

H01L21027

IPC分类号：

G03F742

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

朱丹

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-12-20	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回
2006-05-17	公开	公开

共 50 条

[1]

抗蚀剂除去装置和抗蚀剂除去方法 [P].

土桥和也 ;

布瀬晓志 .

中国专利 :CN102906858A ,2013-01-30

[2]

抗蚀剂除去方法以及抗蚀剂除去装置 [P].

和田昌之 .

中国专利 :CN1920673B ,2007-02-28

[3]

抗蚀剂除去装置以及抗蚀剂除去方法 [P].

佐伯尚之 .

中国专利 :CN105280522B ,2016-01-27

[4]

抗蚀剂组合物以及用于除去抗蚀剂的有机溶剂 [P].

姜德万 ;

吴世泰 ;

权赫重 ;

内藤荣治 .

中国专利 :CN100541338C ,2006-05-24

[5]

除去抗蚀剂的方法和用于它的装置 [P].

三浦敏德 .

中国专利 :CN101889330B ,2010-11-17

[6]

在抗蚀剂剥离室中从衬底上除去抗蚀剂的方法 [P].

艾瑞克·A·艾迪尔博格 ;

格拉迪丝·S·洛 ;

杰克·K·库 .

中国专利 :CN1841214A ,2006-10-04

[7]

抗蚀剂剥离液和抗蚀剂的剥离方法 [P].

向喜广 .

中国专利 :CN107390482A ,2017-11-24

[8]

抗蚀剂和蚀刻副产品除去组合物及使用该组合物除去抗蚀剂的方法 [P].

朴东镇 ;

金经大 ;

全相文 ;

黄震虎 ;

孙一现 ;

权相五 ;

田弼权 .

中国专利 :CN1407409A ,2003-04-02

[9]

用于除去光致抗蚀剂的剥离剂组合物和使用其剥离光致抗蚀剂的方法 [P].

宋贤宇 ;

孙成旼 ;

韩东一 ;

朴泰文 ;

李东勋 .

中国专利 :CN113138544A ,2021-07-20

[10]

用于除去光致抗蚀剂的剥离剂组合物和使用其剥离光致抗蚀剂的方法 [P].

宋贤宇 ;

孙成旼 ;

韩东一 ;

朴泰文 ;

李东勋 .

韩国专利 :CN113138544B ,2024-09-13

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