具有超硬磨料增强的化学机械平坦化修整器衬垫

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910638879.5

申请日：

2013-05-06

公开(公告)号：

CN110328616A

公开(公告)日：

2019-10-15

发明(设计)人：

帕特里克·多林安德鲁·加尔平

申请人：

申请人地址：

美国马萨诸塞州

IPC主分类号：

B24B53017

IPC分类号：

代理机构：

北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287

代理人：

李婷

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-10-15	公开	公开
2019-11-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 53/017 申请日:20130506

共 50 条

[1]

具有超硬磨料增强的化学机械平坦化修整器衬垫 [P].

帕特里克·多林 ;

安德鲁·加尔平 .

中国专利 :CN104620356A ,2015-05-13

[2]

化学结合的超硬磨料 [P].

C·M·孙 ;

S·H·陈 .

中国专利 :CN1051691A ,1991-05-29

[3]

超硬磨料砂轮修整器 [P].

李长河 .

中国专利 :CN201098844Y ,2008-08-13

[4]

具有平坦化尖端的化学机械研磨垫修整器 [P].

宋健民 .

中国专利 :CN103329253B ,2013-09-25

[5]

抛光垫修整器及化学机械平坦化的方法 [P].

宋健民 .

中国专利 :CN110871407A ,2020-03-10

[6]

化学机械平坦化垫的修整器及其相关方法 [P].

R·蒂瓦里 ;

C·苏里亚加 ;

B·阿灵顿 ;

P·多林 ;

A·A·加尔平 .

中国专利 :CN112135709A ,2020-12-25

[7]

用于化学机械平坦化的修整工具和技术 [P].

T·普萨纳甘达 ;

黄太郁 ;

S·拉马纳坦 ;

E·舒尔策 ;

J·G·巴尔多尼 ;

S·布利简 ;

C·迪恩-恩戈克 .

中国专利 :CN103252722A ,2013-08-21

[8]

用于化学机械平坦化的修整工具和技术 [P].

T·普萨纳甘达 ;

黄太郁 ;

S·拉马纳坦 ;

E·舒尔策 ;

J·G·巴尔多尼 ;

S·布利简 ;

C·迪恩-恩戈克 .

中国专利 :CN101563188A ,2009-10-21

[9]

用作化学机械平坦化垫修整器的研磨工具 [P].

C·迪恩-古兹 ;

S·拉曼斯 ;

E·M·舒勒 ;

J·吴 ;

T·珀坦纳恩加迪 ;

R·维达塔姆 ;

T·黄 .

中国专利 :CN102341215B ,2012-02-01

[10]

用作化学机械平坦化垫修整器的研磨工具 [P].

C·迪恩-古兹 ;

S·拉曼斯 ;

E·M·舒勒 ;

J·吴 ;

T·珀坦纳恩加迪 ;

R·维达塔姆 ;

T·黄 .

中国专利 :CN103962943A ,2014-08-06

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