离子束检测系统及方法、离子注入机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910298792.8

申请日：

2019-04-15

公开(公告)号：

CN109841472A

公开(公告)日：

2019-06-04

发明(设计)人：

黄家明

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

H01J37244

IPC分类号：

H01J37317

代理机构：

上海领洋专利代理事务所(普通合伙) 31292

代理人：

吴靖靓

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-06-04	公开	公开
2021-07-02	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01J 37/244 申请公布日:20190604
2019-06-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/244 申请日:20190415

共 50 条

[1]

离子注入检测系统以及离子注入机 [P].

卢合强 ;

王振辉 ;

王颖芳 ;

高国珺 ;

张明明 ;

张义彩 .

中国专利 :CN203812850U ,2014-09-03

[2]

离子注入机中的离子束 [P].

C·伯吉斯 ;

M·基恩 .

中国专利 :CN101086945A ,2007-12-12

[3]

离子束流加速管及离子注入机 [P].

张恒峰 ;

马国宇 ;

张喻召 .

中国专利 :CN118973070A ,2024-11-15

[4]

离子注入方法及离子注入机 [P].

沈政辉 .

中国专利 :CN102479655B ,2012-05-30

[5]

离子注入方法及离子注入机 [P].

周真真 ;

刘厥扬 ;

胡展源 .

中国专利 :CN110797247B ,2020-02-14

[6]

离子注入方法及离子注入机 [P].

崔保群 ;

曹耀辉 ;

李志军 ;

路瑞亮 .

中国专利 :CN102943245A ,2013-02-27

[7]

离子注入机用护板及离子注入机 [P].

吴奥明 ;

李前凤 .

中国专利 :CN212725222U ,2021-03-16

[8]

离子注入电极及离子注入机 [P].

张瑜 ;

赵超 ;

董少龙 ;

冯庆龙 ;

王化涛 .

中国专利 :CN218123347U ,2022-12-23

[9]

用于离子注入机的离子束测量导向装置 [P].

许飞 ;

陈立峰 ;

逄锦涛 ;

张进创 .

中国专利 :CN203434124U ,2014-02-12

[10]

离子束角度可调整的离子注入机 [P].

权畅宪 .

中国专利 :CN1160333A ,1997-09-24

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