化学机械研磨工艺的研磨头清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011345481.1

申请日：

2020-11-26

公开(公告)号：

CN112476231B

公开(公告)日：

2021-03-12

发明(设计)人：

陈慧新李松王大帮宋振伟张守龙

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市新吴区新洲路30号

IPC主分类号：

B24B3711

IPC分类号：

B24B3734 B24B5506

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

张彦敏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-12	公开	公开
2022-07-19	授权	授权
2021-03-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/11 申请日:20201126

共 50 条

[1]

化学机械研磨装置及化学机械研磨工艺研磨垫清洗装置 [P].

李松 ;

宋振伟 ;

张守龙 .

中国专利 :CN112476243A ,2021-03-12

[2]

研磨头清洗装置和化学机械研磨设备 [P].

董兵超 .

中国专利 :CN203887686U ,2014-10-22

[3]

化学机械研磨工艺的研磨控制方法 [P].

李松 ;

夏汇哲 .

中国专利 :CN113070808A ,2021-07-06

[4]

化学机械研磨工艺的研磨控制方法 [P].

何梓清 ;

秦国清 ;

彭栋 .

中国专利 :CN120663230A ,2025-09-19

[5]

化学机械研磨工艺 [P].

许嘉麟 ;

蔡胜群 .

中国专利 :CN1755901A ,2006-04-05

[6]

化学机械研磨工艺 [P].

刘裕腾 .

中国专利 :CN1245740C ,2004-03-03

[7]

化学机械研磨设备研磨头的清洗方法 [P].

陈增祥 ;

杨波 ;

王亦磊 ;

贾广森 .

中国专利 :CN101456161A ,2009-06-17

[8]

研磨头组件的清洗装置以及化学机械研磨设备 [P].

曹开玮 ;

詹明松 ;

王怀锋 ;

余文军 .

中国专利 :CN201559124U ,2010-08-25

[9]

一种用于化学机械研磨工艺的保持环、研磨头及研磨装置 [P].

邬良 .

中国专利 :CN215700778U ,2022-02-01

[10]

化学机械研磨装置及清洗研磨垫、研磨头的方法 [P].

王怀峰 ;

张伟光 ;

党国锋 .

中国专利 :CN101357450A ,2009-02-04

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