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化学机械研磨工艺的研磨控制方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110459224.9
申请日：
2021-04-27
公开(公告)号：
CN113070808A
公开(公告)日：
2021-07-06
发明(设计)人：
李松
夏汇哲
申请人：
申请人地址：
214028 江苏省无锡市新吴区新洲路30号
IPC主分类号：
B24B37005
IPC分类号：
代理机构：
上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人：
郭四华
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/005 申请日:20210427 |
| 2021-07-06 | 公开 | 公开 |