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使用双重图案化的光致抗蚀剂图像成形方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200980111624.8
申请日：
2009-03-30
公开(公告)号：
CN101981501A
公开(公告)日：
2011-02-23
发明(设计)人：
R·R·达梅尔
D·J·阿布达拉
E·阿勒梅
M·帕德马纳本
申请人：
申请人地址：
美国新泽西
IPC主分类号：
G03F700
IPC分类号：
G03F740
代理机构：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038
代理人：
夏正东
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-04-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101065887881 IPC(主分类):G03F 7/00 专利申请号:2009801116248 申请日:20090330 |
| 2011-02-23 | 公开 | 公开 |
| 2013-01-16 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101495210260 IPC(主分类):G03F 7/00 专利申请号:2009801116248 申请公布日:20110223 |